[發明專利]一種太陽能電池載板在審
| 申請號: | 201711126093.2 | 申請日: | 2017-11-15 |
| 公開(公告)號: | CN109786312A | 公開(公告)日: | 2019-05-21 |
| 發明(設計)人: | 莊輝虎;林錦山;楊與勝;宋廣華;謝延權;王樹林 | 申請(專利權)人: | 福建鈞石能源有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 362000 福建省*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 階梯凹槽 載板 太陽能電池 工藝過程 載板基體 點接觸 支撐點 薄膜沉積 充分接觸 單元排列 獨立單位 膜層損傷 四周邊緣 溫度調整 接地 板基體 均勻性 熱影響 支撐框 成膜 多片 雜散 摩擦 支撐 重復 | ||
1.一種太陽能電池載板,其特征在于:所述載板為一片載板基體單元的獨立單位結構或多片重復的載板基體單元排列組合的整體結構,所述載板基體單元包括載板支撐框、用于支撐硅片四周邊緣的第一階梯凹槽和設于第一階梯凹槽內的第二階梯凹槽,所述第二階梯凹槽內分布有與硅片中間部分點接觸的若干支撐點。
2.根據權利要求1所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述載板及載板基體單元的厚度為1mm~30mm,所述載板基體單元結構上設的第一階梯凹槽深度為0.1mm~1mm。
3.根據權利要求1所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述載板基體單元結構上的階梯凹槽內外棱角都進行倒角,倒角控制30°~90°之間。
4.根據權利要求1所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述第一階梯凹槽與硅片接觸的階梯為平面結構或傾斜結構,所述第一階梯凹槽的階梯寬度為2-6mm。
5.根據權利要求4所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述第一階梯凹槽與硅片接觸的階梯為傾斜結構,則所述傾斜結構的傾斜角度控制在15°~50°之間。
6.根據權利要求1所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述第二階梯凹槽為鏤空結構或實心結構。
7.根據權利要求6所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述第二階梯凹槽為鏤空結構,所述第二階梯凹槽內設有若干平行設置的支撐條,所述支撐條上間隔分布有光滑處理過的支撐點。
8.根據權利要求6所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述第二階梯凹槽為實心結構,所述第二階梯凹槽內為整塊的實心板,所述實心板上間隔排布有光滑處理過的支撐點。
9.根據權利要求1所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述支撐點高度與第二凹槽的深度相近,所述支撐點的高度為0.2mm~10mm,支撐點的柱體直徑為1mm~10mm。
10.根據權利要求1所述一種太陽能電池載板,其特征在于:所述載板基體單元與硅片非接觸的空白區域為粗糙結構,粗糙度控制在Ra6.3~Ra0.4um之間。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





