[發(fā)明專利]真空閥、真空泵以及真空排氣系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711122617.0
• 申請日: 2017-11-14
• 公開（公告）號: CN108302213B
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中村雅哉;小崎純一郎;中谷敦夫;平田伸幸
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F16K3/06
• 分類號: F16K3/06;F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發(fā)明提供一種能夠進行與真空泵的狀況相應(yīng)的閥動作的真空閥。真空閥具備：閥片，受到開閉驅(qū)動；閥驅(qū)動部，對閥片進行開閉驅(qū)動；通信端子133，輸入表示真空泵的動作狀態(tài)的泵信息信號；以及閥控制部13，基于所輸入的泵信息信號來控制閥動作。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種真空閥(valve)、安裝于所述真空閥的真空泵(pump)以及具備真空閥和真空泵的真空排氣系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在用于制造半導(dǎo)體、平板顯示器(flat panel display)及觸摸屏(touch screen)等的真空處理裝置(成膜裝置或蝕刻(etching)裝置等)中，一邊控制工藝氣體(processgas)的供給量，一邊進行成膜處理或蝕刻處理等。此種真空處理裝置中，在工藝腔室(process chamber)與真空泵之間設(shè)有流導(dǎo)(conductance)可變的真空閥。通過調(diào)整所述真空閥的流導(dǎo)，來進行工藝腔室的壓力調(diào)整。

流導(dǎo)可變的真空閥一般是通過改變閥體的開度來變更流導(dǎo)(例如參照專利文獻1)。而且，閥體也能完全關(guān)閉，從而能夠在全閉狀態(tài)與全開狀態(tài)之間進行動作，而如閘閥(gate valve)般使用。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2010-135371號公報。

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

此外，當(dāng)因停電等而真空泵緊急停止時，真空閥必須進行危險避免處理。例如，在使用可燃性氣體的工藝的情況下，停電時要將真空閥設(shè)為開狀態(tài)，以防止可燃性氣體積留在工藝腔室內(nèi)。而且，在使用有毒氣體的工藝的情況下，在停電時要將真空閥設(shè)為全閉狀態(tài)，將有毒氣體封入工藝腔室內(nèi)，以避免危險。但是，以往的真空閥中，無法掌握真空泵的狀況，因此無法如上所述般進行與真空泵的狀況相應(yīng)的動作。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的真空閥連接有真空泵，所述真空閥包括：閥片，受到開閉驅(qū)動；驅(qū)動部，對所述閥片進行開閉驅(qū)動；信號輸入部，輸入表示所述真空泵的動作狀態(tài)的泵信息信號；以及閥控制部，基于所輸入的所述泵信息信號來控制所述閥片的動作。

更優(yōu)選的實施方式中，所述泵信息信號是表示對所述真空泵的供給電力已停止的停電信號、在停電之前的瞬間停電時輸出的瞬間停電信號、所述真空泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速信息、及表示所述真空泵的配置姿勢的姿勢信息信號中的至少1個。

更優(yōu)選的實施方式中，所述泵信息信號包含表示對所述真空泵的供給電力已停止的停電信號，當(dāng)所述停電信號被輸入至所述信號輸入部時，使所述閥片移動到事先設(shè)定的危險避免位置。

更優(yōu)選的實施方式中，所述泵信息信號更包含在停電之前的瞬間停電時輸出的瞬間停電信號，當(dāng)對所述信號輸入部輸入有所述瞬間停電信號時，所述閥控制部使所述閥片的動作速度下降。

更優(yōu)選的實施方式中，所述泵信息信號更包含表示所述真空泵的配置姿勢的姿勢信息信號，所述閥控制部根據(jù)所述姿勢信息信號來改變所述閥片的驅(qū)動扭矩。

更優(yōu)選的實施方式中，更包括：第1電力輸入部，輸入來自商用電源的電力；以及第2電力輸入部，在所述供給電力的停止時輸入由所述真空泵所生成的再生電力，所述泵信息信號更包含所述真空泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速信息，所述閥控制部在轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速成為規(guī)定轉(zhuǎn)速以下時，停止向所述危險避免位置的移動。

更優(yōu)選的實施方式中，更包括：第1電力輸入部，輸入來自商用電源的電力；以及第2電力輸入部，在所述供給電力的停止時輸入由所述真空泵所生成的再生電力，當(dāng)所述停電信號被輸入至所述信號輸入部時，使所述閥片的動作停止規(guī)定時間后，使所述閥片移動到事先設(shè)定的初始位置或危險避免位置。