[發明專利]真空閥、真空泵以及真空排氣系統有效
| 申請號： | 201711122617.0 | 申請日： | 2017-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN108302213B | 公開（公告）日： | 2020-03-17 |
| 發明（設計）人： | 中村雅哉;小崎純一郎;中谷敦夫;平田伸幸 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | F16K3/06 | 分類號： | F16K3/06;F04D19/04;F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 真空泵 以及 排氣 系統 | ||
1.一種真空閥，其連接有真空泵，所述真空閥的特征在于包括：
閥片，受到開閉驅動；
驅動部，對所述閥片進行開閉驅動；
信號輸入部，輸入表示所述真空泵的動作狀態的泵信息信號；以及
閥控制部，基于所輸入的所述泵信息信號來控制所述閥片的動作；
所述泵信息信號包含表示對所述真空泵的供給電力已停止的停電信號，
當所述停電信號被輸入至所述信號輸入部時，使所述閥片移動到事先設定的危險避免位置，
所述真空閥更包括：
第1電力輸入部，輸入來自商用電源的電力；以及
第2電力輸入部，在所述供給電力的停止時輸入由所述真空泵所生成的再生電力，
所述泵信息信號更包含所述真空泵的轉子轉速信息，
所述閥控制部在轉子轉速成為規定轉速以下時，停止向所述危險避免位置的移動。
2.一種真空閥，其連接有真空泵，所述真空閥的特征在于包括：
閥片，受到開閉驅動；
驅動部，對所述閥片進行開閉驅動；
信號輸入部，輸入表示所述真空泵的動作狀態的泵信息信號；以及
閥控制部，基于所輸入的所述泵信息信號來控制所述閥片的動作；
所述泵信息信號包含表示對所述真空泵的供給電力已停止的停電信號，
當所述停電信號被輸入至所述信號輸入部時，使所述閥片移動到事先設定的危險避免位置，
所述真空閥更包括：
第1電力輸入部，輸入來自商用電源的電力；以及
第2電力輸入部，在所述供給電力的停止時輸入由所述真空泵所生成的再生電力，
當所述停電信號被輸入至所述信號輸入部時，使所述閥片的動作停止規定時間后，使所述閥片移動到事先設定的初始位置或危險避免位置。
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