[發(fā)明專利]一種氣體分流合流裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711121821.0
• 申請(qǐng)日: 2017-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN107988587B
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周仁;張寶戈;孫澤江;徐建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44;C23C16/455;H01L21/67
• 代理公司: 沈陽(yáng)維特專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 21229
• 代理人: 甄玉荃

1.一種氣體分流合流裝置，其特征在于：包括合流閥、分流閥及清洗閥，所述的合流閥上設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣口與一個(gè)出氣口，所述的一個(gè)進(jìn)氣口連接一清洗閥，其余進(jìn)氣口分別對(duì)應(yīng)連接一分流閥；所述合流閥、分流閥及清洗閥內(nèi)均設(shè)有多條彼此獨(dú)立的進(jìn)氣、出氣管道；所述的合流閥上設(shè)有三個(gè)進(jìn)氣口與一個(gè)出氣口，同時(shí)對(duì)應(yīng)設(shè)有兩個(gè)分流閥與一個(gè)清洗閥；所述的合流閥上設(shè)有進(jìn)氣口A、進(jìn)氣口B、進(jìn)氣口C與一個(gè)出氣口A，合流閥內(nèi)部設(shè)有兩個(gè)相同的隔膜閥，所述的第一隔膜閥包括一槽A、進(jìn)氣管A、進(jìn)氣管B及一出氣管A，所述的進(jìn)氣管A與進(jìn)氣管B一端均連通固定在槽A底部，進(jìn)氣管A另一端與一進(jìn)氣口A連接，進(jìn)氣管B的另一端與進(jìn)氣口B連接，出氣管A一端連通固定在槽A底部，另一端與出氣口A連接；同樣另外第二隔膜閥與第一隔膜閥結(jié)構(gòu)相同，同樣包括一槽D,槽D的底部連通設(shè)有進(jìn)氣管C、進(jìn)氣管D及出氣管B,進(jìn)氣管C與進(jìn)氣口C連通，進(jìn)氣管D與進(jìn)氣口B連通，出氣管B與出氣口A連通；

所述的分流閥設(shè)置為2個(gè)，分別包括一個(gè)進(jìn)氣口D、出氣口B、出氣口C及一組隔膜閥，所述的分流閥的第一隔膜閥內(nèi)設(shè)有槽B、進(jìn)氣管E與出氣管C，所述的進(jìn)氣管E一端與槽B內(nèi)連通，另一端與進(jìn)氣口D連通，出氣管C一端與槽內(nèi)連通固定，另一端與出氣口B連通；所述的第二隔膜閥內(nèi)同樣設(shè)有槽C、進(jìn)氣管F與出氣管D，所述的第二隔膜閥內(nèi)的進(jìn)氣管F一端與槽C內(nèi)連通另一端與進(jìn)氣口D連通，出氣管D一端與槽C連通固定，另一端與出氣口C連通；

所述的清洗閥，上設(shè)有一出氣管E，出氣管E與合流閥的進(jìn)氣口B連通固定；所述的分流閥的出氣口C與合流閥的進(jìn)氣口A連通；所述的合流閥的進(jìn)氣口C連通固定一分流閥。

2.如權(quán)利要求1所述的一種氣體分流合流裝置，其特征在于：所述的合流閥上的兩個(gè)隔膜閥相對(duì)設(shè)置，每個(gè)隔膜閥與中間對(duì)稱軸呈45度角。

3.如權(quán)利要求1所述的一種氣體分流合流裝置，其特征在于：在將清洗閥的出氣管E與合流閥的進(jìn)氣口B進(jìn)行固定的時(shí)候，將清洗閥的出氣管E通過法蘭形式連接固定在合流閥的進(jìn)氣口B處，合流閥體底部進(jìn)氣口開燕尾槽，使用o-ring密封，通過螺栓連接將進(jìn)氣法蘭與合流閥連接。

4.如權(quán)利要求1所述的一種氣體分流合流裝置，其特征在于：將進(jìn)氣管B、進(jìn)氣管D與出氣管E三者連通一體化設(shè)計(jì)。

5.如權(quán)利要求1所述的一種氣體分流合流裝置，其特征在于：使用時(shí)所述的氣體分流合流裝置設(shè)置為多組，組與組之間上下設(shè)置，中間夾設(shè)有加熱基板，所述的加熱基板分為三層，中間為加熱板，上下兩層為固定板。

6.如權(quán)利要求1所述的一種氣體分流合流裝置，其特征在于：所述的出氣管A與出氣管B在出氣口A處合并成一條管道通道。

7.如權(quán)利要求1所述的一種氣體分流合流裝置，其特征在于：將分流閥與合流閥采用焊接進(jìn)行固定。