[發(fā)明專利]具有保護測試的集成電路及其測試方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711117894.2
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN107728042B
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 請求不公布姓名
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;H01L23/544
• 代理公司: 北京市鑄成律師事務(wù)所 11313
• 代理人: 由元;武晨燕

1.一種具有保護測試的集成電路，包括芯片本體及芯片測試電路，其特征在于，所述芯片測試電路包括：

保護環(huán)，環(huán)繞所述芯片本體的電路區(qū)，以形成非封閉環(huán)；

信號源電路，連接于所述保護環(huán)，用于向所述保護環(huán)提供測試信號，所述信號源電路包括限流電路以及連接于所述限流電路的信號源，所述信號源通過所述限流電路向所述保護環(huán)提供所述測試信號，所述限流電路包括漏極串聯(lián)連接的NMOS晶體管和PMOS晶體管以及電阻，電阻的一端連接于信號源電路和保護環(huán)的連接點，另一端連接于NMOS晶體管和PMOS晶體管的漏極，NMOS晶體管的源極連接于信號源，PMOS晶體管的源極接地，NMOS晶體管和PMOS晶體管的柵極外接測試結(jié)構(gòu)，所述信號源包括電流源；以及

檢測點，設(shè)置于所述保護環(huán)上，在所述檢測點處檢測所述測試信號，以根據(jù)所檢測的測試信號確定所述芯片本體是否破損。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有保護測試的集成電路，其特征在于，所述保護環(huán)具有第一端部和第二端部，所述第一端部接地。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有保護測試的集成電路，其特征在于，所述信號源電路與所述保護環(huán)的連接點位于所述第二端部。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有保護測試的集成電路，其特征在于，所述信號源電路與所述保護環(huán)的連接點鄰近于所述第二端部，使得所述連接點至所述第一端部的電路長度大于等于所述保護環(huán)由所述第一端部至所述第二端部的電路長度的70％。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有保護測試的集成電路，其特征在于，所述連接點至所述第一端部的電路長度大于等于所述保護環(huán)由所述第一端部至所述第二端部的電路長度的90％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有保護測試的集成電路，其特征在于，所述芯片本體上形成若干層掩膜層，每一層所述掩膜層各由一層所述保護環(huán)環(huán)繞，每一層所述保護環(huán)通過開關(guān)單元均連接于所述信號源電路。

7.一種芯片測試方法，應(yīng)用于權(quán)利要求1所述的具有保護測試的集成電路，其特征在于，包括：

控制所述信號源電路向所述保護環(huán)提供測試信號；以及

在所述檢測點處檢測所述測試信號，以根據(jù)所檢測的測試信號來確定所述保護環(huán)是否斷路以及所述芯片本體是否破損，

其中，在所述檢測點處檢測所述測試信號的步驟中，當(dāng)在所述檢測點處沒有檢測到所述測試信號，確定所述保護環(huán)斷路且所述芯片本體破損；當(dāng)在所述檢測點處檢測到所述測試信號，確定所述保護環(huán)沒有斷路且所述芯片本體沒有破損；

還包括測試芯片本體的破損程度，電流源向保護環(huán)提供電流信號，根據(jù)接收電流信號的大小判斷保護環(huán)的斷裂程度，從而判斷芯片本體的破損程度。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片測試方法，其特征在于，所述芯片測試方法還包括：

當(dāng)確定所述保護環(huán)斷路時，改變所述檢測點在所述保護環(huán)上的位置，以確定所述芯片本體破損的位置。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片測試方法，其特征在于，所述芯片本體上形成若干層掩膜層，每一層所述掩膜層各由一層所述保護環(huán)環(huán)繞，每一層所述保護環(huán)通過開關(guān)單元均連接于所述信號源電路，所述芯片測試方法包括：

控制所述開關(guān)單元使其中一層掩膜層的保護環(huán)連接于所述信號源電路；

控制所述信號源電路向所述掩膜層的保護環(huán)提供測試信號；以及

在所述檢測點處檢測所述測試信號，以根據(jù)所檢測的測試信號來確定所述掩膜層的保護環(huán)是否斷路以及所述掩膜層是否破損，

其中，在所述檢測點處檢測所述測試信號的步驟中，當(dāng)在其中一所述掩膜層的對應(yīng)所述保護環(huán)的所述檢測點處沒有檢測到所述測試信號，則判斷所述掩膜層的所述保護環(huán)斷路且所述掩膜層破損；當(dāng)在其中一所述掩膜層的對應(yīng)所述保護環(huán)的所述檢測點處檢測到所述測試信號，則判斷所述掩膜層的所述保護環(huán)沒有斷路且所述掩膜層沒有破損。