[發明專利]硅片清洗花籃

在審

• 申請號: 201711116669.7
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN107737765A
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 吳世欽
• 申請（專利權）人: 常州市杰洋精密機械有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B13/00;H01L21/673
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 李明

技術領域

本發明涉及硅片制造技術領域，具體涉及一種硅片清洗花籃。

背景技術

半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗，因為微量污染會導致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染雜質，包括有機物和無機物。清除污染的方法有物理清洗和化學清洗兩種。

在對硅片進行清洗時，使用硅片清洗花籃，不僅由于化學藥劑具有腐蝕性，而且清洗花籃的插槽有利于將硅片均勻分開，不發生粘連，影響清洗的效果。

另外由于在清洗過程中，為了防止硅片上部發生形變而粘連在一起，現有硅片清洗花籃中在花籃的頂部設置有上部齒桿，而針對上部齒桿的固定，一般是將上部齒桿插入兩個側板的插槽內且兩者之間采用過盈連接，從而實現上部齒桿與側板的固定，但是此連接對操作人員的要求較高，工作強度較大。

有鑒于上述現有的硅片清洗花籃存在的缺陷，本發明人基于從事此類產品設計制造多年豐富的實務經驗及專業知識，并配合學理的運用，積極加以研究創新，以期創設一種硅片清洗花籃，使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計，并經反復試作樣品及改進后，終于創設出確具實用價值的本發明。

發明內容

本發明的主要目的在于，克服現有的硅片清洗花籃上部齒桿的固定存在的缺陷，而提供一種硅片清洗花籃，增加上部活動齒桿從而避免出現硅片上部出現粘連影響硅片清洗的效果，另外減小上部活動齒桿與支架之間固定付出的力，減小勞動強度，提高工作效率，從而更加適于實用，且具有產業上的利用價值。

本發明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。

硅片清洗花籃，包括一對支架以及設置在所述一對支架間的花籃齒桿，其中，

所述花籃齒桿分為固定齒桿與活動齒桿；

每個所述支架上均設置有L型卡槽，所述活動齒桿的端部設置有長方體型的卡銷，所述卡銷能夠卡設在所述L型卡槽內，實現所述活動齒桿與一對所述支架的固定，轉動插入所述L型卡槽內的所述卡銷，使所述卡銷卡設在所述L型卡槽內。

作為一種優選的技術方案，所述卡銷截面（垂直于活動齒桿長度方向的截面）為長方形，所述長方形的長不小于所述L型卡槽的豎邊的寬且不大于所述L型卡槽的橫邊的長，所述長方形的寬不大于所述L型卡槽豎邊的寬。

作為一種優選的技術方案，所述L型卡槽的豎邊與橫邊的交接處為圓角，且插入所述L型卡槽內的所述卡銷的一側為圓弧面。

作為一種優選的技術方案，所述卡銷與所述活動齒桿的主體部分之間設置有擋板，用于防止所述活動齒桿的水平移動。

作為一種優選的技術方案，所述活動齒桿的齒與所述卡銷的長方體型截面的長邊垂直，使得當所述卡銷卡設在所述L型卡槽內后，所述齒呈垂直向下狀態。

作為一種優選的技術方案，所述固定齒桿包括三組，分別為設置在所述支架底部的第一固定齒桿組、設置在所述支架上部的第二固定齒桿組和設置在所述支架中間段的第三固定齒桿組，所述固定齒桿之間形成的方形空間用于放置待清洗硅片。

作為一種優選的技術方案，所述第一固定齒桿組的齒向上設置，所述第二固定齒桿組與所述第三固定齒桿組的齒水平向內設置。

采用上述技術方案，能夠實現以下技術效果：

1）、通過固定齒桿形成的片槽，將硅片均勻的分布在花籃內，且上部設置的活動齒桿進一步分隔硅片，避免硅片上部發生粘連從而影響清洗的效果；

2）、活動齒桿與支架的L型卡槽之間的連接方便，且轉動活動齒桿所需付出的力較小、活動齒桿與支架連接牢靠。

附圖說明

圖1為本發明硅片清洗花籃的主視圖；

圖2為本發明硅片清洗花籃的俯視圖；

圖3為本發明支架的結構示意圖；

圖4為本發明固定齒桿的結構示意圖；

其中：1-活動齒桿，2-固定齒桿，3-L型卡槽，4-支架，5-卡銷。

具體實施方式

為更進一步闡述本發明為達成預定發明目的所采取的技術手段及功效, 對依據本發明提出的硅片清洗花籃其具體實施方式、特征及其功效，詳細說明如后。

本發明公開了一種硅片清洗花籃，包括一對支架4以及設置在一對支架4間的花籃齒桿，其中，

花籃齒桿分為固定齒桿2與活動齒桿1；

每個支架4上均設置有L型卡槽3，L型卡槽3包括橫邊和豎邊，活動齒桿1的端部設置有長方體型的卡銷5，卡銷5能夠卡設在L型卡槽3內，實現活動齒桿1與一對支架4的固定，具體的，轉動插入L型卡槽3內的卡銷5，使卡銷5卡設在L型卡槽3的橫邊內，使得卡銷5無法在豎直方向上或者水平方向上發生移動。