[發明專利]硅片清洗花籃

在審

• 申請號: 201711116669.7
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN107737765A
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 吳世欽
• 申請（專利權）人: 常州市杰洋精密機械有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B13/00;H01L21/673
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 李明

1.硅片清洗花籃，其特征在于，包括一對支架（4）以及設置在所述一對支架（4）間的花籃齒桿，其中，

所述花籃齒桿分為固定齒桿（2）與活動齒桿（1）；

每個所述支架（4）上均設置有L型卡槽（3），所述活動齒桿（1）的端部設置有長方體型的卡銷（5），所述卡銷（5）能夠卡設在所述L型卡槽（3）內，實現所述活動齒桿（1）與一對所述支架（4）的固定。

2.根據權利要求1所述的硅片清洗花籃，其特征在于，所述卡銷（5）截面為長方形，所述長方形的長不小于所述L型卡槽（3）的豎邊的寬且不大于所述L型卡槽（3）的橫邊的長，所述長方形的寬不大于所述L型卡槽（3）豎邊的寬。

3.根據權利要求1或2所述的硅片清洗花籃，其特征在于，所述L型卡槽（3）的豎邊與橫邊的交接處為圓角，且插入所述L型卡槽（3）內的所述卡銷（5）的一側為圓弧面。

4.根據權利要求1所述的硅片清洗花籃，其特征在于，所述卡銷（5）與所述活動齒桿（1）的主體部分之間設置有擋板，用于防止所述活動齒桿（1）的水平移動。

5.根據權利要求1所述的硅片清洗花籃，其特征在于，所述活動齒桿（1）的齒與所述卡銷（5）的長方體型截面的長邊垂直，使得當所述卡銷（5）卡設在所述L型卡槽（3）內后，所述齒呈垂直向下狀態。

6.根據權利要求1所述的硅片清洗花籃，其特征在于，所述固定齒桿（2）包括三組，分別為設置在所述支架（4）底部的第一固定齒桿組、設置在所述支架（4）上部的第二固定齒桿組和設置在所述支架（4）中間段的第三固定齒桿組，所述固定齒桿（2）之間形成的方形空間用于放置待清洗硅片。

7.根據權利要求5所述的硅片清洗花籃，其特征在于，所述第一固定齒桿組的齒向上設置，所述第二固定齒桿組與所述第三固定齒桿組的齒水平向內設置。