[發(fā)明專利]基于規(guī)則的OPC方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711112632.7
• 申請日: 2017-11-10
• 公開（公告）號: CN107831636B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何大權(quán);趙寶燕
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G03F1/36
• 分類號: G03F1/36
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種基于規(guī)則的OPC方法，包括：

步驟一、輸入初始圖形T0；

步驟二、選擇不作移動的圖形邊；其特征在于，還包括如下步驟：

步驟三、選擇規(guī)則二圖形邊，該圖形邊記為B2；

步驟四、選擇規(guī)則一圖形邊，該圖形邊記為B1；

步驟五、設(shè)定圖形邊移動規(guī)則一；

步驟六、根據(jù)圖形邊移動規(guī)則一移動圖形邊B1，得到的圖形記為T1；

步驟七、選擇圖形T1中與圖形邊B2的共邊，該共邊記為B21；

步驟八、設(shè)定圖形邊移動規(guī)則二；

步驟九、根據(jù)圖形邊移動規(guī)則二移動圖形邊B21；

步驟十、輸出圖形；

步驟二所述“不作移動的圖形邊”，是指初始圖形中不適用于既定規(guī)則的圖形邊；

步驟三所述“規(guī)則二圖形邊”，是指測量線寬或間距時使用偏置量會產(chǎn)生多余凹凸的圖形邊；

步驟四所述“規(guī)則一圖形邊”，是指初始圖形的所有圖形邊去除不作移動的圖形邊和規(guī)則二圖形邊后的圖形邊；

步驟五所述“圖形邊移動規(guī)則一”，是指測量線寬和間距時使用偏置量；

步驟八所述“圖形邊移動規(guī)則二”，是指測量線寬時不使用偏置量，或測量間距時不使用偏置量；

步驟九所述“根據(jù)圖形邊移動規(guī)則二移動圖形邊B21”，是指以圖形T1作為OPC待修正圖形，初始圖形T0作為測量圖形間距的參考圖形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：該基于規(guī)則的OPC方法通過Calibre SVRF工具實現(xiàn)。