[發明專利]聲波濾波器裝置及制造該聲波濾波器裝置的方法

有效

• 申請號: 201711104059.5
• 申請日: 2017-11-10
• 公開（公告）號: CN108155887B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 羅圣勛;鄭載賢;樸昇旭
• 申請（專利權）人: 三星電機株式會社
• 主分類號: H03H9/54
• 分類號: H03H9/54
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉奕晴;金光軍

1.一種聲波濾波器裝置，包括：

基板；

濾波器，設置在所述基板上；

壁構件，設置在所述基板上并且圍繞所述濾波器；及

蓋構件，設置在所述壁構件的上方，并且與所述壁構件形成內部空間，

其中，所述蓋構件具有向上凸出的彎曲的形狀并且包括包含第一材料的第一蓋構件和包含第二材料的第二蓋構件，

所述第一蓋構件設置在所述壁構件上，并且所述第二蓋構件設置在所述第一蓋構件上。

2.根據權利要求1所述的聲波濾波器裝置，其中：

所述第一蓋構件和所述第二蓋構件中的至少一個具有殘余應力。

3.根據權利要求1所述的聲波濾波器裝置，其中，所述蓋構件包括向上凸出的中央部分。

4.根據權利要求2所述的聲波濾波器裝置，其中，所述第一蓋構件具有與所述第二蓋構件的厚度相同或比所述第二蓋構件的厚度薄的厚度。

5.根據權利要求1所述的聲波濾波器裝置，還包括：金屬層，在所述壁構件的外部，設置在所述基板上。

6.根據權利要求5所述的聲波濾波器裝置，還包括：

下凸塊金屬構件，設置在所述金屬層上。

7.根據權利要求6所述的聲波濾波器裝置，還包括：

凸塊，設置在所述下凸塊金屬構件上；及

模制層，設置為使得所述下凸塊金屬構件、所述壁構件及所述蓋構件嵌入在其中，并且使得所述凸塊部分地向外暴露。

8.根據權利要求7所述的聲波濾波器裝置，其中，金屬膜設置在所述凸塊下方且在所述下凸塊金屬構件上。

9.根據權利要求7所述的聲波濾波器裝置，其中，所述模制層設置在所述蓋構件上。

10.根據權利要求2所述的聲波濾波器裝置，其中，形成所述第二蓋構件的所述第二材料的彈性模量大于形成所述第一蓋構件的所述第一材料的彈性模量。

11.根據權利要求2所述的聲波濾波器裝置，其中，形成所述第一蓋構件的所述第一材料和形成所述第二蓋構件的所述第二材料為不同的金屬。

12.一種制造聲波濾波器裝置的方法，包括：

在基板上形成濾波器；

形成壁構件以圍繞所述濾波器；及

形成具有向上凸出的中央部分的蓋構件，所述蓋構件包括：

第一蓋構件，形成在所述壁構件上；及

第二蓋構件，形成在所述第一蓋構件上。

13.根據權利要求12所述的方法，其中，所述第一蓋構件具有與所述第二蓋構件的厚度相同或比所述第二蓋構件的厚度薄的厚度。

14.根據權利要求12所述的方法，其中，形成所述第一蓋構件的第一材料和形成所述第二蓋構件的第二材料為不同的金屬。

15.根據權利要求12所述的方法，其中，形成第二蓋構件的第二材料的彈性模量大于形成所述第一蓋構件的第一材料的彈性模量。

16.根據權利要求12所述的方法，其中，所述第二蓋構件通過非電鍍或電鍍工藝形成。

17.根據權利要求12所述的方法，其中，形成所述第二蓋構件的步驟包括當形成所述第二蓋構件時向所述第二蓋構件施加張應力，以使在形成所述第二蓋構件后在所述第二蓋構件中殘留有殘余應力。

18.根據權利要求12所述的方法，其中，所述形成所述第一蓋構件的步驟包括：

將金屬片結合到所述壁構件；及

去除所述金屬片的邊緣。

19.根據權利要求12所述的方法，還包括：

在與所述基板上形成所述濾波器相同的工藝期間，在所述基板上形成金屬層。