[發明專利]一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板

在審

• 申請號: 201711102804.2
• 申請日: 2017-11-10
• 公開（公告）號: CN107723672A
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 李東濱;秦正春;吳疆;馮斌;王德苗;金浩
• 申請（專利權）人: 蘇州求是真空電子有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司32224
• 代理人: 董建林,俞翠華

技術領域

本發明屬于濺射鍍膜擋板技術領域，具體涉及一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板。

背景技術

利用現有技術進行柱形靶在濺射鍍膜工藝時，很容易出現靶平行的方向上膜厚呈現中間厚、兩端薄的膜厚不均的現象。為了解決此技術問題，現有技術中，一般需要通過在設備內安裝膜厚修正擋板，來緩解前述的膜厚不均勻的問題，但是安裝在設備內時，對膜厚修正擋板的調整、安裝和維護需要先將柱形靶拆除，然后再進行后續的工作，因而存在工作量較大的問題。

發明內容

針對上述問題，本發明提出一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板，其結構簡單，將膜厚修正板集成安裝在擋板上，在對膜厚修正板進行調整、安裝和維護時，無需對柱形靶進行拆裝，從而大大減小了工作量。

實現上述技術目的，達到上述技術效果，本發明通過以下技術方案實現：

一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板，包括半環形擋板、兩個條狀件和膜厚修正板；

所述的半環形擋板的橫截面為半多邊形或者半圓形；

所述的兩個條狀件的延伸方向與半環形擋板的延伸方向相同，且分別與所述半環形擋板的兩個端部相連；

所述膜厚修正板包括弧形狀的第一修正板和第二修正板，所述第一修正板與第二修正板結構相同，且二者對稱設置，二者展平后均呈等腰梯形狀，等腰梯形的長邊與條狀件相連，等腰梯形上與前述長邊相對的短邊處于自由狀態，且所述短邊的長度與柱形靶上膜厚大于設定值的厚膜的豎直長度相等。

進一步地，所述半環形擋板的橫截面為半八邊形。

進一步地，所述第一修正板和第二修正板分別與對應的條狀件活動相連。

進一步地，所述第一修正板和第二修正板分別與對應的條狀件之間為螺紋連接。

進一步地，所述條狀件為不銹鋼豎條或者鋁豎條。

進一步地，所述第一修正板和第二修正板上的短邊與半環形擋板之間的距離根據濺射膜厚在豎直方向的分布調整，且所述短邊的長度與柱形靶上膜厚大于設定值的厚膜的豎直長度相等。

本發明的有益效果：

本發明提出了一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板，將膜厚修正板集成安裝在擋板上，在對膜厚修正板進行調整、安裝和維護時，不需要對柱形靶進行拆裝工作，從而大大減小了工作量。

附圖說明

圖1為本發明一種實施例的帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板的整體結構示意圖；

圖2為本發明一種實施例的帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板的俯視圖；

圖3為本發明一種實施例的帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板的側視圖。

具體實施方式

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。

下面結合附圖對本發明的應用原理作詳細的描述。

由于現有技術中很容易出現靶平行的方向上膜厚呈現中間厚(厚膜)、兩端薄(薄膜)的膜厚不均的現象，如圖1-3所示，本發明提出一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉擋板，包括半環形擋板1、兩個條狀件2和膜厚修正板3；

所述的半環形擋板1的橫截面為半多邊形或者半圓形；如圖1所示，在本發明的一種具體實施例中，所述半環形擋板1的橫截面為八邊形，能夠消除擋板開口處應力不均的問題，大大提高半環形擋板1的強度，起到加強筋的作用；

所述的兩個條狀件(201，202)的延伸方向與半環形擋板1的延伸方向相同，且分別與所述半環形擋板1的兩個端部相連，優選與端部的邊緣相連，具體參見圖2，所述兩個條狀件2用于起加強筋作用，防止由于長時間使用，導致本發明的柱形靶旋轉擋板結構變形，從而影響使用；

所述膜厚修正板3包括弧形狀的第一修正板301和第二修正板302，所述第一修正板301與第二修正板302結構相同，且二者對稱設置，二者展平后均呈等腰梯形狀，等腰梯形的長邊與條狀件2相連，等腰梯形上與前述長邊相對的短邊處于自由狀態，第一修正板301和第二修正板302的短邊之間存在距離，共同形成膜厚修正板開口，且所述短邊的長度與柱形靶上膜厚大于設定值的厚膜的豎直長度相等，且所述第一修正板301和第二修正板302上的短邊與半環形擋板1之間的距離根據濺射膜厚在豎直方向的分布調整，當柱形靶濺射時，由第一修正板301和第二修正板302上的對靶的濺射材料進行遮擋，從而達到膜厚修正的功能。