[發(fā)明專利]一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉(zhuǎn)擋板

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711102804.2
• 申請日: 2017-11-10
• 公開（公告）號: CN107723672A
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李東濱;秦正春;吳疆;馮斌;王德苗;金浩
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州求是真空電子有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司32224
• 代理人: 董建林,俞翠華

1.一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉(zhuǎn)擋板，其特征在于：包括半環(huán)形擋板、兩個條狀件和膜厚修正板；

所述的半環(huán)形擋板的橫截面為半多邊形或者半圓形；

所述的兩個條狀件的延伸方向與半環(huán)形擋板的延伸方向相同，且分別與所述半環(huán)形擋板的兩個端部相連；

所述膜厚修正板包括弧形狀的第一修正板和第二修正板，所述第一修正板與第二修正板結(jié)構(gòu)相同，且二者對稱設(shè)置，二者展平后均呈等腰梯形狀，其中，等腰梯形的長邊與條狀件相連，等腰梯形上與前述長邊相對的短邊處于自由狀態(tài)，且所述短邊的長度與柱形靶上膜厚大于設(shè)定值的厚膜的豎直長度相等。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉(zhuǎn)擋板，其特征在于：所述半環(huán)形擋板的橫截面為半八邊形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉(zhuǎn)擋板，其特征在于：所述第一修正板和第二修正板分別與對應(yīng)的條狀件活動相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉(zhuǎn)擋板，其特征在于：所述第一修正板和第二修正板分別與對應(yīng)的條狀件之間為螺紋連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉(zhuǎn)擋板，其特征在于：所述條狀件為不銹鋼豎條或者鋁豎條。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶膜厚修正功能的柱形靶旋轉(zhuǎn)擋板，其特征在于：所述第一修正板和第二修正板上的短邊與半環(huán)形擋板之間的距離根據(jù)濺射膜厚在豎直方向的分布確定，且所述短邊的長度與柱形靶上膜厚大于設(shè)定值的厚膜的豎直長度相等。