[發明專利]一種藍寶石襯底研磨廢液中碳化硼高效循環再利用新方法

在審

• 申請號: 201711098306.5
• 申請日: 2017-11-09
• 公開（公告）號: CN108002388A
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 曹華軍;葛威威;陳二恒;鄢佳豪;鞠文杰;趙偉;曹航
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: C01B32/991
• 分類號: C01B32/991;C01F7/02
• 代理公司: 重慶大學專利中心 50201
• 代理人: 王翔

1.一種藍寶石襯底研磨廢液中碳化硼高效循環再利用新方法，其特征在于:

步驟1：將藍寶石襯底研磨廢液與所述有機物分離劑、酸液進行混合，三者質量比為(1∶2～3∶1～2)。

所述廢液是采用碳化硼磨料研磨加工藍寶石襯底產生的廢液；

所述有機物分離劑選自無水乙醇、氯仿、乙醚中的任一種；

所述酸液選自鹽酸、硝酸、硫酸中的任一種，其濃度范圍為10％～40％；

步驟2：將步驟1所得的混合液進行超聲波洗滌；超聲波頻率設置為30～50KHz,洗滌時間為15～30分鐘；

步驟3：將步驟2所得的混合液進行過濾，獲取所需的固體混合物；

步驟4：將步驟3中得到的固體混合物進行水洗并烘干；

步驟5：將步驟4中得到的干燥固體混合物用篩分儀進行篩分，回收碳化硼與氧化鋁。

2.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底研磨廢液中碳化硼高效循環再利用新方法，其特征在于：步驟3中，過濾后的濾液可重新用于步驟1使用。

3.根據權利要求1或2所述的一種藍寶石襯底研磨廢液中碳化硼高效循環再利用新方法，其特征在于：步驟3中，采用蒸發的方法對濾液進行純化，用來回收有機物分離劑。

4.根據權利要求1或3所述的一種藍寶石襯底研磨廢液中碳化硼高效循環再利用新方法，其特征在于：步驟5中，通過選擇不同規格的篩分網格。可獲得不同粒徑要求的碳化硼磨料；同時將篩分后不符合粒徑要求的混合物進行收集，作為耐火材料的原料，實現廢物回收再利用。

5.根據權利要求1或4所述的一種藍寶石襯底研磨廢液中碳化硼高效循環再利用新方法，其特征在于：步驟5中，選擇篩分網格為360目的篩網，其孔徑為40um，由于混合物中碳化硼的粒度范圍為20～100um，氧化鋁粒徑范圍為3～10um，通過篩分獲得粒徑不小于40um的碳化硼微粒和粒徑小于40um的碳化硼與氧化鋁的混合物。