[發(fā)明專利]一種勻膠機排風裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711094407.5
• 申請日: 2017-11-09
• 公開（公告）號: CN109765759B
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發(fā)明（設計）人: 張超;程虎;郭生華;曲征輝
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

本發(fā)明涉及勻膠機領域，具體地說是一種勻膠機排風裝置，包括進風盒、閥門盒、連接筒、氣缸、活塞和排風法蘭，其中所述進風盒、閥門盒、排風法蘭內(nèi)部依次相通形成排風通道，連接筒設置于所述閥門盒任一側，且所述活塞通過所述氣缸驅動在所述閥門盒和連接筒內(nèi)移動，在所述閥門盒與所述進風盒相連一端的開口內(nèi)壁上設有溶劑槽。本發(fā)明通過控制氣缸的往復運動帶動活塞運動，從而實現(xiàn)自動控制排風開關的目的，另外在閥門盒上部設有溶劑槽，溶劑槽內(nèi)的溶劑會蒸發(fā)保持裝置內(nèi)部的濕潤，減少光刻膠在裝置內(nèi)壁凝結，保持穩(wěn)定的排風量，同時也易于裝置的內(nèi)部維護。

技術領域

本發(fā)明涉及勻膠機領域，具體地說是一種勻膠機排風裝置。

背景技術

現(xiàn)有技術中的光刻膠勻膠機均采用真空方式排風，但勻膠機排風裝置為手動控制，無法實現(xiàn)自動控制排風開關的功能。此外，現(xiàn)有技術中的勻膠機排風裝置內(nèi)部空間狹小，光刻膠非常容易在裝置內(nèi)壁上凝結，內(nèi)部維護也極不方便。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種勻膠機排風裝置，通過控制氣缸的往復運動帶動活塞運動，從而實現(xiàn)自動控制排風開關的目的，另外在閥門盒上部設有溶劑槽，溶劑槽內(nèi)的溶劑會蒸發(fā)保持裝置內(nèi)部的濕潤，減少光刻膠在裝置內(nèi)壁凝結，保持穩(wěn)定的排風量，同時也易于裝置的內(nèi)部維護。

本發(fā)明的目的是通過以下技術方案來實現(xiàn)的：

一種勻膠機排風裝置，包括進風盒、閥門盒、連接筒、氣缸、活塞和排風法蘭，其中所述進風盒、閥門盒、排風法蘭內(nèi)部依次相通形成排風通道，連接筒設置于所述閥門盒任一側，且所述活塞通過所述氣缸驅動在所述閥門盒和連接筒內(nèi)移動，在所述閥門盒與所述進風盒相連一端的開口內(nèi)壁上設有溶劑槽。

當所述活塞移動至所述連接筒內(nèi)時，所述排風通道正常排風，當所述活塞移動至所述閥門盒內(nèi)時，所述排風通道阻斷。

所述氣缸安裝在連接筒外側。

所述進風盒包括下筒體、中間盒體和兩個進風口，所述下筒體一端與所述閥門盒固連，另一端與所述中間盒體固連，兩個進風口設置于所述中間盒體上。

所述中間盒體與所述下筒體相連的一端內(nèi)徑逐漸收窄。

所述排風法蘭內(nèi)設有排風口。

本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為：

1、本發(fā)明通過控制氣缸的往復運動帶動活塞運動，從而實現(xiàn)自動控制排風開關的目的。

2、本發(fā)明在閥門盒上部設有溶劑槽，溶劑槽內(nèi)的溶劑會蒸發(fā)保持裝置內(nèi)部的濕潤，減少光刻膠在裝置內(nèi)壁凝結，保持穩(wěn)定的排風量，同時也易于裝置的內(nèi)部維護。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的立體圖，

圖2為圖1中本發(fā)明的主視圖，

圖3為圖1中本發(fā)明的剖視圖，

圖4為圖3中的A處放大圖。

其中，1為進風盒，11為進風口，12為中間盒體，13為下筒體，2為閥門盒，3為連接筒，4為氣缸，5為排風法蘭，6為活塞，7為溶劑槽。

具體實施方式

下面結合附圖對本發(fā)明作進一步詳述。