[發明專利]一種勻膠機排風裝置

有效

• 申請號: 201711094407.5
• 申請日: 2017-11-09
• 公開（公告）號: CN109765759B
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發明（設計）人: 張超;程虎;郭生華;曲征輝
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

1.一種勻膠機排風裝置，其特征在于：包括進風盒(1)、閥門盒(2)、連接筒(3)、氣缸(4)、活塞(6)和排風法蘭(5)，其中所述進風盒(1)、閥門盒(2)、排風法蘭(5)內部依次相通形成排風通道，連接筒(3)設置于所述閥門盒(2)任一側，且所述活塞(6)通過所述氣缸(4)驅動在所述閥門盒(2)和連接筒(3)內移動，在所述閥門盒(2)與所述進風盒(1)相連一端的開口內壁上設有溶劑槽(7)；

當所述活塞(6)移動至所述連接筒(3)內時，所述排風通道正常排風，當所述活塞(6)移動至所述閥門盒(2)內時，所述排風通道阻斷；

所述氣缸(4)安裝在連接筒(3)外側；

所述進風盒(1)包括下筒體(13)、中間盒體(12)和兩個進風口(11)，所述下筒體(13)一端與所述閥門盒(2)固連，另一端與所述中間盒體(12)固連，兩個進風口(11)設置于所述中間盒體(12)上；

所述中間盒體(12)與所述下筒體(13)相連的一端內徑逐漸收窄。

2.根據權利要求1所述的勻膠機排風裝置，其特征在于：所述排風法蘭(5)內設有排風口。