[發明專利]片材表面潔凈度測量方法

在審

• 申請號: 201711085968.9
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN109752389A
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 魏超鋒;鄧浩;李夢飛;張超;辛麗
• 申請（專利權）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 鐘歡

1.片材表面潔凈度測量方法，包括步驟：

提供潔凈度測量裝置，其包括載物臺、滴液件和攝像頭，所述滴液件與所述載物臺相對設置，所述攝像頭位于所述載物臺的一側；

提供具有待測表面的片材；

將所述片材置于所述載物臺，使所述待測表面與所述滴液件相對，利用所述滴液件在所述待測表面施加至少一個液滴；

利用所述攝像頭對所述至少一個液滴取相；以及

根據所述至少一個液滴的成相，確定所述片材的待測表面的潔凈度。

2.如權利要求1所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，根據所述至少一個液滴的成相，測量所述至少一個液滴的接觸角，分析所述至少一個液滴的接觸角測量結果，確定所述片材的待測表面的潔凈度。

3.如權利要求2所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，所述片材的待測表面為多邊形、且具有N個邊緣，利用所述滴液件在所述待測表面施加至少一個液滴時，在所述待測表面靠近所述N個邊緣處分別施加一個液滴。

4.如權利要求3所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，利用所述滴液件在所述待測表面施加至少一個液滴時，在所述待測表面的中心處施加一個液滴。

5.如權利要求4所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，根據所述至少一個液滴的接觸角平均值確定所述片材的待測表面的潔凈度等級。

6.如權利要求5所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，設置所述至少一個液滴的接觸角平均值界限A和B，其中A＜B，根據表面清潔度品質從高到低、將所述片材依次分為I級、II級和III級，當所述至少一個液滴的接觸角平均值＜A、該片材為I級；當A≤所述至少一個液滴的接觸角平均值＜B、該片材為II級；當至少一個液滴的接觸角平均值≥B、該片材為III級。

7.如權利要求6所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，當所述至少一個液滴的接觸角平均值＜A時，若存在A≤某個液滴的接觸角值＜B的情況，則在該液滴附近取點重測，以確定是否將該片材降為II級；設接觸角平均值界限C＞B，當A≤所述至少一個液滴的接觸角平均值＜B時，若存在B≤某個液滴的接觸角值＜C的情況，則在該液滴附近取點重測，以確定是否降為III級。

8.如權利要求7中所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，當所述至少一個液滴的接觸角平均值＜A時，存在A≤某個液滴的接觸角值＜B的情況的，若重測得的A≤液滴接觸角值＜B的點為多個，將該片材降為II級；當A≤所述至少一個液滴的接觸角平均值＜B時，存在B≤某個液滴的接觸角值＜C的情況的，若重測得的B≤液滴接觸角值＜C的點為多個，將該片材降為III級。

9.如權利要求1至8中任一項所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，所述潔凈度測量裝置還包括光源，所述光源位于所述載物臺遠離所述攝像頭的另一側，利用所述攝像頭對所述液滴取相時，所述光源為開啟狀態。

10.如權利要求9所述的片材表面潔凈度測量方法，其特征在于，所述潔凈度測量裝置還包括信號連接于所述攝像頭的數據處理模塊，所述數據處理模塊接收來自所述攝像頭的成相并計算接觸角結果；所述潔凈度測量裝置還包括信號連接于所述數據處理模塊的顯示器，所述顯示器用于顯示所述接觸角結果。