[發明專利]一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法

在審

• 申請號: 201711085464.7
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN109750278A
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 王建立;張義;馬旺;王成新;肖成峰
• 申請（專利權）人: 山東浪潮華光光電子股份有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C30B25/12;C30B29/40
• 代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
• 代理人: 呂利敏

1.一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法，其特征在于，在金屬有機物化學氣相沉積設備外進行裝片、再將整個托盤和襯底一起放入預裝室，吹掃去除水氧、然后將托盤和襯底一起放入所述金屬有機物化學氣相沉積設備的反應室，進行生長。

2.根據權利要求1所述的一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法，其特征在于，在金屬有機物化學氣相沉積設備外進行裝片的方法：利用超凈工作臺對所述托盤進行裝片，即在超凈工作臺內將所述襯底裝入所述托盤。

3.根據權利要求1所述的一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法，其特征在于，在所述超凈工作臺內設置有旋轉裝置，所述托盤通過軸承與所述超凈工作臺旋轉連接。

4.根據權利要求1所述的一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法，其特征在于，在所述軸承上固定設置有旋轉蓋板，優選的，所述旋轉蓋板為鋼化玻璃板。

5.根據權利要求1所述的一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法，其特征在于，在所述軸承和旋轉蓋板之間設置有塑膠墊。

6.根據權利要求1所述的一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法，其特征在于，在所述鋼化玻璃板的上表面設置有防滑夾片。

7.根據權利要求1所述的一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法，其特征在于，所述防滑夾片為扇形分布設置在所述鋼化玻璃板的上表面。

8.根據權利要求1所述的一種提高金屬有機物化學氣相沉積設備生產效率的爐外裝片方法，其特征在于，在所述超凈工作臺內設置吸筆小泵。