[發明專利]集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法

在審

• 申請號: 201711085351.7
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN110019459A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 姬小兵;馬秀麗;魏劍嵬;楊祖業;張麗麗;王晶
• 申請（專利權）人: 沈陽中科博微科技股份有限公司
• 主分類號: G06F16/25
• 分類號: G06F16/25;G06Q50/04;H04L29/08
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

本發明公開了集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，包括數據采集、數據存儲以及數據分發三部分。數據采集指通過SEMI國際標準的通信協議與集成電路裝備制造廠的設備進行聯網通訊，獲取并解析設備數據。數據存儲是將獲取到的設備數據緩存在服務器端，轉換為裝備描述文件后上傳至云平臺。數據分發即接入云平臺，獲取裝備描述文件解析后根據訂閱方式進行數據分發。本發明基于云計算技術提供高效的實時數據服務，解決了在集成電路裝備企業生產過程信息量大，尤其是極大規模的集成電路裝備制造企業設備基數大、實時數據量龐大、傳統的數據采集及存儲方法存在實時數據采集難，實時性不高、數據存儲與分發慢等問題，解決海量數據的采集與存儲問題。

技術領域

本發明涉及集成電路生產線領域的數據采集和存儲，具體說是一種集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法。

背景技術

在集成電路裝備企業生產過程信息量大，尤其是極大規模的集成電路裝備制造企業設備基數大，實時數據量龐大。在以往的實踐中，典型的集成電路裝備進行工藝操作時，裝備控制器將實時數據傳輸至服務器內進行保存，當裝備制造廠商訪問數據時，需要多次訪問數據庫，存在實時數據采集即時性不高，存儲和訪問耗時很大等問題。嚴重影響集成電路裝備制造企業實現自動化監控的需求。

發明內容

針對現有技術采集及時性不高，存儲和訪問耗時很大等問題等不足之處，本發明要解決的技術問題是提供一種集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，包括：

配置數據庫中的配置信息，與集成電路生產設備進行通訊，獲取采集事件并解析成設備數據上傳至服務器端；

在服務器端緩存獲取的設備數據，在工藝完成時將設備數據轉換壓縮為裝備描述文件，上傳至云平臺中進行保存；

當有客戶端接入云平臺時，從云平臺獲取裝備描述文件并解壓縮還原成設備數據，分發給客戶端。

所述配置數據庫中的配置信息，并與集成電路生產設備進行通訊，獲取采集事件并解析成設備數據上傳至服務器端，包括：

配置SQL Server數據庫中的配置信息；

從SQL Server數據庫加載配置信息，根據SEMI通信協議和配置信息向集成電路生產設備獲取采集事件；

根據SEMI通信協議將接收到的采集事件解析成設備數據，并上傳至服務器端。

所述配置信息包括采集數據ID和事件ID的映射表、實時數據采集周期表，所述周期表用于對采集數據事件的采樣頻率進行管控。

所述在工藝完成時將設備數據轉換壓縮為裝備描述文件，包括；

將服務器端獲取的設備數據按照模板轉換成初始裝備描述文件；所述模板以XML格式保存在服務器上，模板文件的內部結構包含若干節點，一個節點存放一條數據信息，包括關鍵字與對應的數值。

將初始裝備描述文件按照如下操作轉換成裝備描述文件：

在初始裝備描述文件中根據設備數據中的關鍵字查找其對應的數據值；

如果查找到的數據值的數據類型為整型或浮點型，則將服務器端獲取的設備數據與查找到的數據值的數據初始值做相差操作；

如果查找到的數據值的數據類型為字符，則先將服務器端獲取的設備數據轉化為相應的十進制的ASCII碼，然后與查找到的數據值的數據初始值做相差操作；

如果查找到的數據值的數據類型為其余類型，則不做處理；

將差值寫入初始裝備描述文件中生成裝備描述文件。