[發明專利]集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法

在審

• 申請號: 201711085351.7
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN110019459A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 姬小兵;馬秀麗;魏劍嵬;楊祖業;張麗麗;王晶
• 申請（專利權）人: 沈陽中科博微科技股份有限公司
• 主分類號: G06F16/25
• 分類號: G06F16/25;G06Q50/04;H04L29/08
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，其特征在于，包括：

配置數據庫中的配置信息，與集成電路生產設備進行通訊，獲取采集事件并解析成設備數據上傳至服務器端；

在服務器端緩存獲取的設備數據，在工藝完成時將設備數據轉換壓縮為裝備描述文件，上傳至云平臺中進行保存；

當有客戶端接入云平臺時，從云平臺獲取裝備描述文件并解壓縮還原成設備數據，分發給客戶端。

2.按照權利要求1所述的集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，其特征在于，所述配置數據庫中的配置信息，并與集成電路生產設備進行通訊，獲取采集事件并解析成設備數據上傳至服務器端，包括：

配置SQL Server數據庫中的配置信息；

從SQL Server數據庫加載配置信息，根據SEMI通信協議和配置信息向集成電路生產設備獲取采集事件；

根據SEMI通信協議將接收到的采集事件解析成設備數據，并上傳至服務器端。

3.按照權利要求2所述的集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，其特征在于，所述配置信息包括采集數據ID和事件ID的映射表、實時數據采集周期表，所述周期表用于對采集數據事件的采樣頻率進行管控。

4.按照權利要求1所述的集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，其特征在于，所述在工藝完成時將設備數據轉換壓縮為裝備描述文件，包括；

將服務器端獲取的設備數據按照模板轉換成初始裝備描述文件；所述模板以XML格式保存在服務器上，模板文件的內部結構包含若干節點，一個節點存放一條數據信息，包括關鍵字與對應的數值；

將初始裝備描述文件按照如下操作轉換成裝備描述文件：

在初始裝備描述文件中根據設備數據中的關鍵字查找其對應的數據值；

如果查找到的數據值的數據類型為整型或浮點型，則將服務器端獲取的設備數據與查找到的數據值的數據初始值做相差操作；

如果查找到的數據值的數據類型為字符，則先將服務器端獲取的設備數據轉化為相應的十進制的ASCII碼，然后與查找到的數據值的數據初始值做相差操作；

如果查找到的數據值的數據類型為其余類型，則不做處理；

將差值寫入初始裝備描述文件中生成裝備描述文件。

5.按照權利要求1所述的集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，其特征在于，所述當有客戶端接入云平臺時，從云平臺獲取裝備描述文件并解壓縮還原成設備數據，分發給客戶端，包括：

通過設備ID檢索到裝備描述文件；

對裝備描述文件進行解壓縮還原為設備數據；

將還原的設備數據分發給客戶端。

6.按照權利要求1、5所述的集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，其特征在于，所述客戶端為PC端。

7.按照權利要求1～5任意一項所述的集成電路生產線用的基于云計算的數據實時處理方法，其特征在于，所述設備數據包括與設備相關的關鍵字；所述裝備描述文件中包括與設備相關的數據值，包括設備ID、數據ID、數據名稱、數據類型、數據初始值、數據間嵌套關系信息。