[發(fā)明專利]一種柔性O(shè)LED顯示面板的制備方法及柔性O(shè)LED顯示面板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711077122.0
• 申請(qǐng)日: 2017-11-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107819021B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙瑜;陳彩琴;明星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/32
• 分類號(hào): H01L27/32
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

1.一種柔性O(shè)LED顯示面板的制備方法，其特征在于，包括：

提供硬質(zhì)基板，在所述硬質(zhì)基板上制備柔性基底層；

在所述柔性基底層上依次制備緩沖層、半導(dǎo)體層、第一柵絕緣層，并進(jìn)行溝道摻雜；

在所述第一柵絕緣層上制備第一柵極，并進(jìn)行源漏極摻雜；

經(jīng)活化處理后，在所述第一柵極上制備第二柵絕緣層，所述活化處理為：于400℃-600℃溫度下退火10min-120min；

經(jīng)氫化處理后，在所述第二柵絕緣層上依次制備第二柵極、有機(jī)間絕緣層、源漏極、平坦層和OLED結(jié)構(gòu)，所述氫化處理采用等離子體氫化法、固態(tài)擴(kuò)散法或氫離子注入法，所述氫化處理過(guò)程中氫化溫度為250℃-450℃，所述氫化處理時(shí)間為0.5h-4h，所述有機(jī)間絕緣層的材質(zhì)包括聚酰亞胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯、硅基倍半氧烷樹(shù)脂中的一種或多種，所述有機(jī)間絕緣層的厚度為0.8μm-1.2μm；

最后采用激光剝離工藝將所述硬質(zhì)基板與所述柔性基底層分離，得到柔性O(shè)LED顯示面板。

2.如權(quán)利要求1所述的柔性O(shè)LED顯示面板的制備方法，其特征在于，所述活化處理的溫度設(shè)置為450℃，所述活化處理的時(shí)間為60min。

3.如權(quán)利要求1所述的柔性O(shè)LED顯示面板的制備方法，其特征在于，所述第一柵極絕緣層的材質(zhì)為氮化硅、氧化硅、氮氧化硅中的一種或多種組合物，第二柵極絕緣層的材質(zhì)包括氮化硅。

4.如權(quán)利要求1所述的柔性O(shè)LED顯示面板的制備方法，其特征在于，所述第一柵極和第二柵極的材質(zhì)包括鉬、鋁、銅、鈦中的一種或多種組合。

5.一種柔性O(shè)LED顯示面板，其特征在于，采用如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的制備方法制備得到，所述柔性O(shè)LED顯示面板包括柔性基底層，以及依次形成在所述柔性基底層上的緩沖層、半導(dǎo)體層、第一柵絕緣層、第一柵極、第二柵絕緣層、第二柵極、有機(jī)間絕緣層、源漏極、平坦層和OLED結(jié)構(gòu)，所述有機(jī)間絕緣層部分覆蓋在所述第二柵極表面，部分覆蓋在所述第二柵絕緣層表面，所述平坦層覆蓋在所述有機(jī)間絕緣層表面且完全覆蓋所述源漏極。