[發明專利]晶體管和晶體管制造方法

有效

• 申請號: 201711076142.6
• 申請日: 2017-11-03
• 公開（公告）號: CN108022976B
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 黃北洲
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司
• 主分類號: H01L29/78
• 分類號: H01L29/78;H01L21/336
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標事務所(普通合伙) 44240
• 代理人: 王麗

本發明公開了一種晶體管和晶體管制造方法。本發明所述的晶體管結構包括：源極，漏極，以及連接源極和漏極的有源層；所述有源層包括二氧化硅框架，所述二氧化硅框架內設置包含銦鎵鋅氧化物合成納材料。本發明可以提升晶體管的性能。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，更具體的說，涉及一種晶體管和晶體管制造方法。

背景技術

液晶顯示器具有機身薄、省電、無輻射等眾多優點，得到了廣泛的應用。現有市場上的液晶顯示器大部分為背光型液晶顯示器，其包括液晶面板及背光模組(BacklightModule)。液晶面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當中放置液晶分子，并在兩片玻璃基板上施加驅動電壓來控制液晶分子的旋轉方向，以將背光模組的光線折射出來產生畫面。

其中，晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)由于具有低的功耗、優異的畫面品質以及較高的生產良率等性能，目前已經逐漸占據了顯示領域的主導地位。同樣，晶體管液晶顯示器包含液晶面板和背光模組，液晶面板包括彩膜基板(Color Filter Substrate，CF Substrate，也稱彩色濾光片基板)和晶體管陣列基板(Thin Film Transistor Substrate，TFT Substrate)，上述基板的相對內側存在透明電極。兩片基板之間夾一層液晶分子(Liquid Crystal，LC)。液晶面板是通過電場對液晶分子取向的控制，改變光的偏振狀態，并藉由偏光板實現光路的穿透與阻擋，實現顯示的目的。

制備高性能的TFT器件是高品質LCD的基礎，目前新一代的晶體管(TFT)采用銦鎵鋅氧化物(indium gallium zinc oxide，IGZO)作為有源層材料，來連接晶體管的源極和漏極，銦鎵鋅氧化物的載流子遷移率是非晶硅的20～30倍，可以大大提高晶體管對像素電極的充放電速率，提高像素的響應速度，實現更快的刷新率，同時更快的響應也大大提高了像素的行掃描速率。本發明提出一種新的銦鎵鋅氧化物有源層技術方案，可以進一步提升晶體管的性能。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種晶體管和晶體管制造方法，以進一步提升晶體管的性能。

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：

根據本發明的一個方面，本發明公開了一種晶體管結構，包括：

源極，

漏極，以及

源極和漏極之間的有源層；

絕緣層，形成在有源層上；

介電層，形成在絕緣層上；

柵極，形成在介電層上；

鈍化層，形成在柵極上；

所述有源層包括二氧化硅框架，所述二氧化硅框架內設置包含銦鎵鋅氧化物的合成納米材料；

所述二氧化硅框架包括多個圓柱形的孔洞，所述孔洞貫穿二氧化硅框架，所述合成納米材料填充于所述孔洞內；

所述合成納米材料還包括鍺和硅；

所述孔洞的直徑范圍是2-7納米；所述孔洞的孔壁厚度范圍是1-2納米。

進一步的，所述二氧化硅框架采用有機分子模版自組裝技術制成。分子模版有很好的定型效果，可以讓銦鎵鋅氧化物納米較為均勻地散布于二氧化硅框架內。

進一步的，所述孔洞按六邊形規則排布。六邊形規則排布可以形成類蜂巢的結構，穩定性好。

根據本發明的另一個方面，本發明還公開了一種顯示面板，包括：

基板；