[發(fā)明專利]一種LTCC基板雙面空腔制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711069032.7
• 申請(qǐng)日: 2017-11-03
• 公開（公告）號(hào): CN107863300B
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高亮;何中偉;賀彪;展丙章
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北方電子研究院安徽有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/48
• 分類號(hào): H01L21/48
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 耿英;董建林

1.一種LTCC基板雙面空腔制作方法，其特征是，包括以下步驟：

1)制作道康寧硅膠塞和生瓷坯填充塞；

2)將各個(gè)道康寧硅膠塞和生瓷坯填充塞分別使用聚乙烯膜包裹，并在封口表面處留出端頭；

3)在制作LTCC基板的疊片工序時(shí)，先疊加完背面的各個(gè)具有空腔的生瓷層，并在各個(gè)空腔中放入對(duì)應(yīng)的生瓷坯填充塞，并使生瓷坯填充塞的封口表面朝下露出端頭；再疊加上中部的懸空空腔底板層生瓷層，最后疊加上正面的各個(gè)具有空腔的生瓷層，并在各個(gè)空腔中放入對(duì)應(yīng)的道康寧硅膠塞，并使道康寧硅膠塞的封口表面朝上露出端頭；

4)采用塑料袋真空包封由疊片臺(tái)、生瓷坯填充塞、LTCC基板生瓷層、道康寧硅膠塞、疊片蓋板構(gòu)成的產(chǎn)品與工裝組件；

5)按照制作LTCC基板層壓工藝規(guī)程，完成雙面空腔的等靜壓層壓，層壓后將產(chǎn)品與工裝組件解包，從聚乙烯膜端頭拽拉出各個(gè)生瓷坯填充塞和道康寧硅膠塞；

6) 按照制作LTCC基板工藝對(duì)切割完成的單元電路進(jìn)行燒結(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LTCC基板雙面空腔制作方法，其特征是，步驟6)中燒結(jié)時(shí)在LTCC基板背面空腔內(nèi)墊入墊片再進(jìn)行燒結(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LTCC基板雙面空腔制作方法，其特征是，選用與制造LTCC基板相同型號(hào)的LTCC生瓷帶作為生瓷坯填充塞的制作材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種LTCC基板雙面空腔制作方法，其特征是，生瓷坯填充塞的制作步驟：

按照LTCC加工工藝規(guī)程，將與LTCC基板背面空腔生瓷層相同層數(shù)的LTCC生瓷片疊片、層壓為密實(shí)的生瓷板料；

采用LTCC切片工藝，將生瓷板料熱切為長(zhǎng)、寬尺寸比共燒前LTCC基板背面空腔小0.05mm～0.1mm的生瓷坯塊作為生瓷坯填充塞。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LTCC基板雙面空腔制作方法，其特征是，采用LTCC基板加工過(guò)程中產(chǎn)生的廢料生瓷帶作為制作生瓷坯填充塞的材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LTCC基板雙面空腔制作方法，其特征是，無(wú)封口的其他面的聚乙烯膜保持平滑。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種LTCC基板雙面空腔制作方法，其特征是，所述墊片由多孔氧化鋁材料制作。