[發明專利]一種排片機在審
| 申請號: | 201711064445.6 | 申請日: | 2017-11-02 |
| 公開(公告)號: | CN108074850A | 公開(公告)日: | 2018-05-25 |
| 發明(設計)人: | 陳永祥 | 申請(專利權)人: | 蘇州優尼梅申工業機器人科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 蘇州睿昊知識產權代理事務所(普通合伙) 32277 | 代理人: | 伍見 |
| 地址: | 215000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 傳動皮帶 引線框架片 傳送表面 傳送皮帶 送料機構 耐磨 防靜電涂層 從動輪 排片機 主動輪 傳送 機械手機構 耐磨性 傳送過程 傳送機構 工作平臺 循環運動 涂膠層 凹陷 彈跳 抖動 樹脂 槽壁 排片 廢品 電機 移動 | ||
1.一種排片機,包括送料機構、傳送機構、機械手機構和工作平臺,其特征在于:所述送料機構包括主動輪(1)、從動輪(2)、電機(3)和傳動皮帶(4),所述傳動皮帶套于主動輪和從動輪并且做前后循環運動,引線框架片(5)放置于所述傳動皮帶的傳送表面且隨傳動皮帶移動,所述電機的輸出軸與所述主動輪連接;
所述傳送皮帶的傳送表面向遠離傳送表面的方向凹陷形成凹槽(6),所述凹槽的槽壁為臺階,所述臺階包括第一臺階(7)和第二臺階(8),所述第一臺階的高度與所述引線框架片的厚度一致,所述第二臺階的高度為1-2cm,所述凹槽的兩側壁且位于所述第一臺階處的寬度與所述引線框架片的寬度一致;傳送時,所述引線框架片放置于第二臺階上并隨傳動皮帶傳送;
所述傳送皮帶的傳送表面設有一耐磨防靜電涂層,所述耐磨防靜電涂層的厚度為1-2mm;
所述耐磨防靜電涂層的表面粗糙度為2-4μm;
所述耐磨防靜電涂層為樹脂型耐磨涂膠層。
2.根據權利要求1所述的一種排片機,其特征在于:所述第二臺階的寬度為1-2cm,所述耐磨防靜電涂層的表面粗糙度為2-3μm。
3.根據權利要求1所述的一種排片機,其特征在于:所述傳送皮帶與所述主動輪接觸的一面設有多根凸條(9),所述主動輪和所述從動輪的表面皆設有與所述凸條相匹配的凹坑(10),通過所述凸臺卡入所述凹坑實現所述傳送皮帶的前后循環運動。
4.根據權利要求3所述的一種排片機,其特征在于:所述傳送皮帶的凸條數量與所述主動輪和所述從動輪上的凹坑的數量相等。
5.根據權利要求1所述的一種排片機,其特征在于:所述耐磨防靜電涂層為北京耐默公司的型號為KN7051的耐磨顆粒膠層。
6.根據權利要求1所述的一種排片機,其特征在于:所述耐磨防靜電涂層的厚度為1.5-2mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





