[發(fā)明專利]平衡質(zhì)量裝置與光刻系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711060734.9
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN109725498B
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 叢國棟;舒嫚
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種平衡質(zhì)量裝置，其特征在于，包括：質(zhì)量本體和緩沖結(jié)構(gòu)，所述質(zhì)量本體連接一曝光臺(tái)，所述緩沖結(jié)構(gòu)連接于所述質(zhì)量本體與整機(jī)框架之間；

所述緩沖結(jié)構(gòu)用于，在所述質(zhì)量本體相對預(yù)設(shè)初始位置發(fā)生偏離時(shí)，為所述質(zhì)量本體提供與所述偏離相抵觸的作用力，所述預(yù)設(shè)初始位置相對于所述整機(jī)框架的位置為固定的；

所述平衡質(zhì)量裝置還包括連接于所述質(zhì)量本體的呈對稱分布的吸能部件；

所述緩沖結(jié)構(gòu)包括N個(gè)緩沖單元；

所述緩沖單元包括M個(gè)緩沖部件，其中，M為大于或等于1的整數(shù)；

所述緩沖部件包括滑座、套筒、第一緩沖器、第二緩沖器、第一連接件和第二連接件；所述滑座的第一端封閉，所述滑座的第二端設(shè)有開口，所述套筒自所述滑座的第二端的開口套設(shè)于所述滑座內(nèi)，且能夠沿所述套筒的內(nèi)壁伸縮；

若所述滑座的第一端連接所述質(zhì)量本體，則所述第一連接件的第一端連接于所述整機(jī)框架，若所述滑座的第一端連接所述整機(jī)框架，則所述第一連接件的第一端連接所述質(zhì)量本體；

所述第一連接件的第一端連接于所述整機(jī)框架，所述第一連接件的第二端連接于所述第一緩沖器，所述第一緩沖器設(shè)于所述套筒的第一外端面；其中，所述第一外端面為所述套筒的遠(yuǎn)離所述質(zhì)量本體的外端面；

若所述第一連接件在所述質(zhì)量本體相對預(yù)設(shè)初始位置發(fā)生偏離時(shí)受力壓縮所述第一緩沖器；所述第一緩沖器用于在受力壓縮時(shí)，向所述第一連接件提供與受力壓縮相抵觸的第一恢復(fù)力；

所述第二連接件和所述第二緩沖器均設(shè)于所述套筒內(nèi)，所述第二連接件的第一端連接所述滑座的第一內(nèi)端面，所述第二緩沖器的兩端分別連接所述第二連接件的第二端與所述套筒的第二內(nèi)端面；其中，所述第一內(nèi)端面為所述滑座的遠(yuǎn)離所述質(zhì)量本體的內(nèi)端面，所述第二內(nèi)端面為所述套筒的靠近所述質(zhì)量本體的內(nèi)端面；

若所述第二連接件在所述質(zhì)量本體相對預(yù)設(shè)初始位置發(fā)生偏離時(shí)受力壓縮所述第二緩沖器；所述第二緩沖器用于在受力壓縮時(shí)，向所述第二連接件提供與受力壓縮相抵觸的第二恢復(fù)力；

所述第一恢復(fù)力與所述第二恢復(fù)力方向相反。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平衡質(zhì)量裝置，其特征在于，所述N個(gè)緩沖單元分布于所述質(zhì)量本體的外周，所述緩沖單元分別連接所述質(zhì)量本體的外周與所述整機(jī)框架，其中,N為大于或等于2的整數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平衡質(zhì)量裝置，其特征在于，所述質(zhì)量本體的外周包括呈多邊形圍合的L個(gè)側(cè)面；所述緩沖單元對應(yīng)連接于相鄰兩個(gè)所述側(cè)面的接合處，其中，L為大于或等于3的整數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平衡質(zhì)量裝置，其特征在于，所述M個(gè)緩沖部件的第一端連接于對應(yīng)的所述接合處，所述M個(gè)緩沖部件的第二端連接所述整機(jī)框架；

其中，若M大于或等于2，則：所述M個(gè)緩沖部件分別沿不同方向設(shè)置，以在所述質(zhì)量本體相對預(yù)設(shè)初始位置發(fā)生偏離時(shí)提供不同方向的作用力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平衡質(zhì)量裝置，其特征在于，所述多邊形為矩形，且M為2，所述M個(gè)緩沖部件包括第一緩沖部件和第二緩沖部件；在所述質(zhì)量本體處于所述預(yù)設(shè)初始位置時(shí)，所述第一緩沖部件沿第一方向設(shè)置，所述第二緩沖部件沿第二方向設(shè)置；所述第一方向?yàn)樗鼍匦蔚拈L度方向，所述第二方向?yàn)樗鼍匦蔚膶挾确较颉?/p>

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平衡質(zhì)量裝置，其特征在于，所述多邊形為矩形，且M為1，在所述質(zhì)量本體處于所述預(yù)設(shè)初始位置時(shí)，所述緩沖部件沿第三方向設(shè)置，所述第三方向?yàn)樗鼍匦蔚膶蔷€方向，或者所述第三方向與所述矩形的長度方向或?qū)挾确较虻匿J角夾角為45度。

7.根據(jù)權(quán)利要求4至6任一項(xiàng)所述的平衡質(zhì)量裝置，其特征在于，所述緩沖部件包括彈簧件，所述彈簧件的第一端連接于對應(yīng)的所述接合處，所述彈簧件的第二端連接于所述整機(jī)框架。

8.根據(jù)權(quán)利要求4至6任一項(xiàng)所述的平衡質(zhì)量裝置，其特征在于，所述緩沖部件分別通過鉸鏈連接所述質(zhì)量本體與整機(jī)框架。

9.一種光刻系統(tǒng)，其特征在于，包括曝光臺(tái)、整機(jī)框架，以及權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的平衡質(zhì)量裝置。