[發明專利]晶圓預對準系統定位方法、定位裝置及定位電路系統

在審

• 申請號: 201711059609.6
• 申請日: 2017-11-01
• 公開（公告）號: CN107768294A
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: 汪梅花
• 申請（專利權）人: 成都吱吖科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.晶圓預對準系統定位方法，其特征在于：其方法步驟為：

（1）機械手臂從儲物盒中吸附晶圓片并放置于旋轉臺上；

（2）晶圓片旋轉一周，由光學線陣CCD檢測晶圓邊緣信息，即晶圓邊緣在固定坐標系下的位置信息，旋轉臺順時針方向旋轉，原點即為旋轉中心，以看到切邊此時正對著x軸的正方向，也就是晶圓片角度校正后切邊所對的位置；

（3）計算晶圓在固定坐標系下的切邊方向偏移量并旋轉至指定方向；

（4）計算切邊定位完成后晶圓圓心的坐標，機械手臂吸附晶圓片旋轉90°，放置晶圓片到新的載物臺，定位晶圓圓心到載物臺中心位置，轉動砂輪研磨切邊；

（5）傳送晶圓片到同方向上的另一載物臺，定位圓心，旋轉載物臺，轉動砂輪研磨弧邊。

2.晶圓預對準系統定位裝置，其特征在于：包括伺服電機和支架，所述伺服電機的上端設置有旋轉臺，所述旋轉臺放置有晶圓片，所述伺服電機的下部連接有光電編碼器。

3.如權利要求2所述的晶圓預對準系統定位裝置，其特征在于：所述支架的底上部設置有感光傳感器，所述支架的頂下部設置有激光發射器，所述感光傳感器接收激光發射器所發射出的平行光束。

4.如權利要求2所述的晶圓預對準系統定位裝置，其特征在于：所述光電編碼器旋轉過程中能將被測軸轉過的角度轉化成脈沖信號，伺服電機用來控制被測軸的旋轉速度，轉速不變，脈沖頻率不變，每個脈沖代表的角度就是確定的，通過計算脈沖個數即可求得邊緣點所在角度，伺服電機控制旋轉臺旋轉一周的過程中，產生的脈沖總數可調，可根據精度要求做調整。

5.晶圓預對準系統定位電路系統，其特征在于：包括單片機、PLC和FPGA，所述單片機通過485通訊連接PLC，所述單片機連接FPGA，所述FPGA分別連接有片外存儲器、4細分和高速AD。

6.如權利要求5所述的晶圓預對準系統定位電路系統，其特征在于：所述高速AD通過運放連接模擬量信號，所述模擬量信號連接線陣CCD。

7.如權利要求5所述的晶圓預對準系統定位電路系統，其特征在于：所述4細分通過AB相正交編碼信號連接光電編碼器，所述光電編碼器通過開關量信號連接FPGA。

8.如權利要求5所述的晶圓預對準系統定位電路系統，其特征在于：所述的定位裝置采集到每個邊緣點的極坐標（，），轉換為直角坐標（，），即（，），若要使目標函數值最小，即使得

（3-8）

最小，其中為邊緣點（，）到晶圓幾何中心（X，Y）的距離；

對公式（3-8）做線性化處理，可轉換為

（3-9）

取S最小值，這里需要對X，Y，R求導，取極值即：

（3-10）

（3-11）

由公式（3-11）解得晶圓幾何中心坐標及半徑的表達式為：

（3-12）。