[發(fā)明專利]一種散熱托盤裝置以及圓片刻蝕設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711057047.1
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN107706138B
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡啟瓊
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州能訊高能半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/687
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 郭新娟

本發(fā)明提供一種散熱托盤裝置以及圓片刻蝕設(shè)備，涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，該圓片刻蝕設(shè)備包括設(shè)備殼體、載物臺和散熱托盤裝置，該散熱托盤裝置包括蓋板和托盤，蓋板可拆卸地蓋設(shè)在托盤上。托盤上開設(shè)有通氣凹槽和至少一個裝片凹槽，裝片凹槽用于容置圓片，通氣凹槽的底部具有冷卻氣體通孔，用于通入冷卻氣體，裝片凹槽的底部具有進(jìn)氣通道，通氣凹槽與進(jìn)氣通道連通，以使冷卻氣體進(jìn)入裝片凹槽。設(shè)備殼體罩設(shè)在載物臺外，托盤可拆卸地連接于載物臺，載物臺內(nèi)具有冷卻氣體通道，冷卻氣體通孔與冷卻氣體通道連通。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的一種散熱托盤裝置，使得冷卻氣體均勻進(jìn)入裝片凹槽并對裝片凹槽進(jìn)行冷卻，散熱效果十分顯著。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種散熱托盤裝置以及圓片刻蝕設(shè)備。

背景技術(shù)

等離子體加工設(shè)備是加工半導(dǎo)體器件的常用設(shè)備，其在進(jìn)行諸如刻蝕、濺射和化學(xué)氣相沉積等工藝過程中，為了提高等離子體加工設(shè)備的生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，一般采用尺寸較大的托盤來承載多個圓片，并將其同時運送至反應(yīng)注室中，從而實現(xiàn)對多個圓片同時進(jìn)行工藝。

目前通用的托盤通常在托盤上開設(shè)多個進(jìn)氣孔，在實際應(yīng)用中不可避免地存在以下問題，即：由于中間進(jìn)氣孔分散于裝片位，熱交換氣體經(jīng)由進(jìn)氣孔向四周擴(kuò)散的擴(kuò)散半徑往往均勻到達(dá)裝片位的各個區(qū)域，由于孔的氣體流量小，在大功率的刻蝕過程中，裝片位刻蝕區(qū)域溫度快速升溫，圓片表面溫度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過工藝要求溫度，從而導(dǎo)致刻蝕工藝失效，影響了等離子體加工設(shè)備的性能，各區(qū)域之間的溫度差異導(dǎo)致裝片位的溫度均勻性較差，影響了等離子體加工設(shè)備的工藝均勻性。

有鑒于此，設(shè)計制造出一種具有良好的散熱性能的散熱托盤裝置就顯得尤為重要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種散熱托盤裝置，其具有良好的散熱性能。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種圓片刻蝕設(shè)備，其具有良好的散熱性能。

本發(fā)明是采用以下的技術(shù)方案來實現(xiàn)的。

一種散熱托盤裝置，安裝在載物臺上并用于裝載圓片，該散熱托盤裝置包括蓋板和托盤，托盤用于可拆卸地連接于載物臺，蓋板可拆卸地蓋設(shè)在托盤上。托盤上開設(shè)有通氣凹槽和至少一個裝片凹槽，裝片凹槽用于容置圓片，通氣凹槽的底部具有冷卻氣體通孔，用于通入冷卻氣體，裝片凹槽的底部具有進(jìn)氣通道，通氣凹槽與進(jìn)氣通道連通，以使冷卻氣體進(jìn)入裝片凹槽。

進(jìn)一步地，裝片凹槽為多個，用于容置多個圓片，多個裝片凹槽均勻分布在托盤上并圍繞通氣凹槽設(shè)置，每個裝片凹槽均具有進(jìn)氣通道，多個進(jìn)氣通道均勻繞設(shè)在通氣凹槽上并與通氣凹槽連通，以使冷卻氣體均勻進(jìn)入到多個裝片凹槽。

進(jìn)一步地，冷卻氣體通孔為多個，多個冷卻氣體通孔均勻分布在通氣凹槽的中部。

進(jìn)一步地，冷卻氣體通孔靠近通氣凹槽的一端的孔徑小于遠(yuǎn)離通氣凹槽一端的孔徑。

進(jìn)一步地，通氣凹槽內(nèi)具有多個螺孔，蓋板通過多個螺孔可拆卸地連接于托盤。

進(jìn)一步地，裝片凹槽內(nèi)設(shè)置有第一密封墊圈，用于密封圓片與裝片凹槽。

進(jìn)一步地，第一密封墊圈為陶瓷墊圈。

進(jìn)一步地，蓋板上開設(shè)有至少一個開口，開口與裝片凹槽一一對應(yīng)，且開口處設(shè)置有壓爪，壓爪具有壓爪內(nèi)襯，壓爪用于通過壓爪內(nèi)襯壓合圓片。

進(jìn)一步地，散熱托盤裝置還包括加固結(jié)構(gòu)，加固結(jié)構(gòu)包括多條加固筋，多條加固筋呈星形分布在蓋板上。