[發(fā)明專利]一種紫外曝光機的LED曝光裝置及其紫外曝光機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711047375.3
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107589636A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 譚艾英;楊若夫;孫秀輝;尹韶云;蔡文濤;陳建軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院;張家港奇點光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京匯捷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11531
• 代理人: 李宏偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種LED曝光裝置，屬于曝光技術(shù)領(lǐng)域嗎，同時，本發(fā)明還涉及了一種紫外曝光機的。

背景技術(shù)

平行光曝光機是精細圖形結(jié)構(gòu)制作的關(guān)鍵設(shè)備，在PCB線路板制造領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。有效曝光面積和照面均勻性是曝光機性能的兩個重要指標(biāo)。對于PCB板制造，紫外曝光光源需要較高的照面均勻性來保證線條均勻，同時還需要大的曝光面積。現(xiàn)有的平行光曝光機實現(xiàn)大幅面曝光的方式主要有掃描式和陣列拼接式兩種模式，掃描式平行光曝光機一般采用一排或多排紫外LED燈珠通過拼接方式形成一條形照明光斑，再通過驅(qū)動裝置將長條狀LED陣列掃描形成大面積照明光斑。掃描式方案可以大量減少紫外LED燈珠的數(shù)量，降低成本，但若其中一顆LED出現(xiàn)故障，則整個照明系統(tǒng)無法使用，系統(tǒng)穩(wěn)定性較差。而陣列式拼接平行光曝光機一般采用高功率紫外LED陣列作為光源，對每顆LED進行光束準(zhǔn)直，形成一照明光斑，所有LED準(zhǔn)直后的照明光斑即可拼接成大面積照明面。然而，大面積拼接方案存在大量的拼接位置，在每個拼接處照度分布非常不均勻，且拼接需要大量LED，成本較高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：提供一種紫外曝光機的LED曝光裝置，該曝光裝置利用相互錯開排列的LED光源模塊掃描形成大面積均勻的照明光斑，降低了成本。

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：提供一種紫外曝光機，該紫外曝光機使用了上述的曝光裝置，通過掃描的方式形成大面積均勻的照明光斑，減少了LED燈珠數(shù)量，降低了成本。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種紫外曝光機的LED曝光裝置，包括滑動基板，所述滑動基板滑動安裝于固定底座上且由驅(qū)動裝置驅(qū)動直線滑動，所述滑動基板上固定有多個尺寸相同的LED光源模塊，各LED光源模塊間隔排列成兩排，每排LED光源模塊之間的間距相等；兩排LED光源模塊相互錯位設(shè)置且其中一排的LED光源模塊的曝光有效面邊緣與另一排對應(yīng)的LED光源模塊的曝光有效面邊緣重合；目標(biāo)面所需的光照面X方向的尺寸為L_x，Y方向的尺寸為L_y，每個LED光源模塊的曝光有效面在X方向的尺寸為L_x1，Y方向的尺寸為L_y1；若L_x＜L_y，所需LED光源模塊的數(shù)量N＝L_x/L_x1，滑動基板的滑動方向與Y方向相同；若L_x＞L_y，所需LED光源模塊的數(shù)量N＝L_y/L_y1，滑動基板的滑動方向與X方向相同。

作為一種優(yōu)選的方案，每個LED光源模塊的結(jié)構(gòu)相同，所述LED光源模塊包括外殼，所述外殼內(nèi)沿光線的傳輸方向依次固定有電路板、若干個LED燈珠、第一復(fù)眼透鏡、第一準(zhǔn)直透鏡、第二復(fù)眼透鏡和第二準(zhǔn)直透鏡，所述LED燈珠固定在電路板上，所述電路板的供電接口伸出外殼外，所述外殼內(nèi)設(shè)置有對電路板和LED燈珠進行冷卻的冷卻裝置，每個LED燈珠的發(fā)光側(cè)設(shè)置有初步準(zhǔn)直透鏡，第一復(fù)眼透鏡、第一準(zhǔn)直透鏡、第二復(fù)眼透鏡和第二準(zhǔn)直透鏡平行設(shè)置。

作為一種優(yōu)選的方案，所述外殼的內(nèi)部設(shè)置內(nèi)腔室，內(nèi)腔室內(nèi)設(shè)置有平行的第一環(huán)形隔板、第二環(huán)形隔板、第三環(huán)形隔板和第四環(huán)形隔板，第一環(huán)形隔板、第二環(huán)形隔板、第三環(huán)形隔板和第四環(huán)形隔板將內(nèi)腔室依次分隔成第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室和第五腔室，所述電路板和冷卻裝置設(shè)置于第一腔室內(nèi)，所述第一復(fù)眼透鏡固定于第二環(huán)形隔板上，所述第一準(zhǔn)直透鏡設(shè)置于第三環(huán)形隔板上，所述第二復(fù)眼透鏡固定在第四環(huán)形隔板上，所述第二準(zhǔn)直透鏡嵌入固定在第五腔室的室壁內(nèi)口沿上。

作為一種優(yōu)選的方案，所述冷卻裝置包括一個冷卻基板，所述冷卻基板固定在第一環(huán)形隔板上，所述LED燈珠固定在冷卻基板上，冷卻基板上設(shè)置有水冷通道，該水冷通道與冷卻水循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)連通。

作為一種優(yōu)選的方案，所述固定底座包括第一座體和第二座體，所述第一座體和第二座體之間構(gòu)成了方便LED光源模塊照射的光照避讓空間，所述第一座體和第二座體上均設(shè)置有平行的直線導(dǎo)軌，所述滑動基板的底部設(shè)置有與直線導(dǎo)軌配合滑塊，所述驅(qū)動裝置包括電機和滾珠絲杠機構(gòu)，所述電機的輸出軸與滾珠絲杠機構(gòu)的絲杠傳動連接，所述滾珠絲杠機構(gòu)的螺母與滑動基板固定連接。

另外，本發(fā)明還公開了一種紫外曝光機，該紫外曝光機使用了上述的LED曝光裝置，因此具有上述LED曝光裝置的所有的效果。