[發(fā)明專利]一種紫外曝光機(jī)的LED曝光裝置及其紫外曝光機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711047375.3
• 申請(qǐng)日: 2017-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN107589636A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚艾英;楊若夫;孫秀輝;尹韶云;蔡文濤;陳建軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院;張家港奇點(diǎn)光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京匯捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11531
• 代理人: 李宏偉

1.一種紫外曝光機(jī)的LED曝光裝置，其特征在于：包括滑動(dòng)基板，所述滑動(dòng)基板滑動(dòng)安裝于固定底座上且由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)直線滑動(dòng)，所述滑動(dòng)基板上固定有多個(gè)尺寸相同的LED光源模塊，各LED光源模塊間隔排列成兩排，每排LED光源模塊之間的間距相等；兩排LED光源模塊相互錯(cuò)位設(shè)置且其中一排的LED光源模塊的曝光有效面邊緣與另一排對(duì)應(yīng)的LED光源模塊的曝光有效面邊緣重合；目標(biāo)面所需的光照面X方向的尺寸為L(zhǎng)_x，Y方向的尺寸為L(zhǎng)_y，每個(gè)LED光源模塊的曝光有效面在X方向的尺寸為L(zhǎng)_x1，Y方向的尺寸為L(zhǎng)_y1；若L_x＜L_y，所需LED光源模塊的數(shù)量N＝L_x/L_x1，滑動(dòng)基板的滑動(dòng)方向與Y方向相同；若L_x＞L_y，所需LED光源模塊的數(shù)量N＝L_y/L_y1，滑動(dòng)基板的滑動(dòng)方向與X方向相同。

2.如權(quán)利要求1所述的一種紫外曝光機(jī)的LED曝光裝置，其特征在于：每個(gè)LED光源模塊的結(jié)構(gòu)相同，所述LED光源模塊包括外殼，所述外殼內(nèi)沿光線的傳輸方向依次固定有電路板、若干個(gè)LED燈珠、第一復(fù)眼透鏡、第一準(zhǔn)直透鏡、第二復(fù)眼透鏡和第二準(zhǔn)直透鏡，所述LED燈珠固定在電路板上，所述電路板的供電接口伸出外殼外，所述外殼內(nèi)設(shè)置有對(duì)電路板和LED燈珠進(jìn)行冷卻的冷卻裝置，每個(gè)LED燈珠的發(fā)光側(cè)設(shè)置有初步準(zhǔn)直透鏡，第一復(fù)眼透鏡、第一準(zhǔn)直透鏡、第二復(fù)眼透鏡和第二準(zhǔn)直透鏡平行設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的一種紫外曝光機(jī)的LED曝光裝置，其特征在于：所述外殼的內(nèi)部設(shè)置內(nèi)腔室，內(nèi)腔室內(nèi)設(shè)置有平行的第一環(huán)形隔板、第二環(huán)形隔板、第三環(huán)形隔板和第四環(huán)形隔板，第一環(huán)形隔板、第二環(huán)形隔板、第三環(huán)形隔板和第四環(huán)形隔板將內(nèi)腔室依次分隔成第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室和第五腔室，所述電路板和冷卻裝置設(shè)置于第一腔室內(nèi)，所述第一復(fù)眼透鏡固定于第二環(huán)形隔板上，所述第一準(zhǔn)直透鏡設(shè)置于第三環(huán)形隔板上，所述第二復(fù)眼透鏡固定在第四環(huán)形隔板上，所述第二準(zhǔn)直透鏡嵌入固定在第五腔室的室壁內(nèi)口沿上。

4.如權(quán)利要求3所述的一種紫外曝光機(jī)的LED曝光裝置，其特征在于：所述冷卻裝置包括一個(gè)冷卻基板，所述冷卻基板固定在第一環(huán)形隔板上，所述LED燈珠固定在冷卻基板上，冷卻基板上設(shè)置有水冷通道，該水冷通道與冷卻水循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)連通。

5.如權(quán)利要求4所述的一種紫外曝光機(jī)的LED曝光裝置，其特征在于：所述固定底座包括第一座體和第二座體，所述第一座體和第二座體之間構(gòu)成了方便LED光源模塊照射的光照避讓空間，所述第一座體和第二座體上均設(shè)置有平行的直線導(dǎo)軌，所述滑動(dòng)基板的底部設(shè)置有與直線導(dǎo)軌配合滑塊，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)和滾珠絲杠機(jī)構(gòu)，所述電機(jī)的輸出軸與滾珠絲杠機(jī)構(gòu)的絲杠傳動(dòng)連接，所述滾珠絲杠機(jī)構(gòu)的螺母與滑動(dòng)基板固定連接。

6.一種紫外曝光機(jī)，其特征在于：該紫外曝光機(jī)使用了如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)中的LED曝光裝置。