[發明專利]防撞裝置及曝光機臺

有效

• 申請號: 201711046800.7
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN109725495B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 叢國棟;張志鋼;李志龍;管博然
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種防撞裝置，其特征在于，包括：

力傳遞機構，所述力傳遞機構包括一環形結構，所述環形結構用于以非接觸的方式包圍一物體；以及

緩沖機構，所述緩沖機構為多個并用于在所述物體的四周設置，多個所述緩沖機構用于分別與所述物體以及所述力傳遞機構連接；

其中，所述緩沖機構包括緩沖器、連接桿以及導向器；所述導向器與所述物體固定連接，并用于限定所述連接桿的運動方向；所述連接桿的一端與所述緩沖器連接，另一端以可轉動的方式與所述力傳遞機構連接，所述緩沖器與所述物體固定連接；

或者，所述緩沖機構包括第二導向器、楔塊、緩沖器、連接桿以及彈簧；所述第二導向器固定安裝在所述物體之上，所述楔塊的一個面可滑動的連接于所述第二導向器，所述彈簧的兩端分別連接于所述第二導向器與所述楔塊，所述楔塊通過鉸鏈與所述力傳遞機構連接；所述緩沖器與所述物體的側面固定連接；所述連接桿一端連接在所述緩沖器上，另一端可滑動的連接于所述楔塊的斜面上。

2.如權利要求1所述的防撞裝置，其特征在于，所述緩沖機構包括滑塊，所述滑塊以可滑動的方式與所述力傳遞機構連接。

3.如權利要求1-2中任意一項所述的防撞裝置，其特征在于，所述力傳遞機構包括多個首尾相連的防撞臂，且任意兩個相鄰防撞臂以可轉動的方式連接。

4.如權利要求1所述的防撞裝置，其特征在于，所述導向器具有一個導向槽，所述連接桿在所述導向槽內活動。

5.如權利要求1所述的防撞裝置，其特征在于，所述緩沖器能夠受力拉升和/或壓縮。

6.如權利要求5所述的防撞裝置，其特征在于，當所述緩沖器僅能夠受力壓縮時，所述連接桿包括一個緩沖器滑竿以及一個導向器滑竿，所述緩沖器滑竿與所述導向器滑竿可分離式接觸。

7.一種曝光機臺，其特征在于，包括曝光臺以及防撞裝置，所述防撞裝置包括力傳遞機構以及緩沖機構，所述力傳遞機構包括一環形結構，所述環形結構以非接觸的方式包圍所述曝光臺，所述緩沖機構為多個并用于在所述曝光臺的四周設置，且多個所述緩沖機構分別與所述曝光臺以及所述力傳遞機構連接；

其中，所述緩沖機構包括緩沖器、連接桿以及導向器；所述導向器與所述曝光臺固定連接，并用于限定所述連接桿的運動方向；所述連接桿的一端與所述緩沖器連接，另一端以可轉動的方式與所述力傳遞機構連接，所述緩沖器與所述曝光臺固定連接；

或者，所述緩沖機構包括第二導向器、楔塊、緩沖器、連接桿以及彈簧；

所述第二導向器固定安裝在所述曝光臺之上，所述楔塊的一個面可滑動的連接于所述第二導向器，所述彈簧的兩端分別連接于所述第二導向器與所述楔塊，所述楔塊通過鉸鏈與所述力傳遞機構連接；所述緩沖器與所述曝光臺的側面固定連接；所述連接桿一端連接在所述緩沖器上，另一端可滑動的連接于所述楔塊的斜面上。