[發明專利]一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置和檢測方法

有效

• 申請號: 201711039154.1
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107966274B
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 張克奇;邱元芳;毛磊;余俊群;呂威;曾志
• 申請（專利權）人: 寧波永新光學股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 寧波奧圣專利代理事務所(普通合伙) 33226
• 代理人: 程曉明

本發明公開了一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置和檢測方法，裝置包括依次設置的紅綠藍三色光源、可升降調節載物臺、標靶和觀察筒，標靶設置在可升降調節載物臺上，觀察筒遠離標靶的一端設置有攝像頭，觀察筒靠近標靶的一端設置有物鏡安裝結構，觀察筒內設置有可沿觀察筒軸向移動的觀察鏡，觀察筒的側面設置有與觀察鏡連接的觀察鏡移動裝置，觀察鏡移動裝置上設置有移動距離測量部件，當觀察鏡位于零位時，攝像頭位于觀察鏡的焦面上，本發明通過物像轉化的方式擴大測量行程，獲得不同色光間焦點的差距，即色差；降低測量分度要求；成本低，測量精度高。

技術領域

本發明涉及一種物鏡色差的檢測方法，尤其是涉及一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置和檢測方法。

背景技術

顯微鏡物鏡作為一種消色差系統，如果以色差大小進行分類，有消色差物鏡、半復消色差物鏡、復消色差物鏡三種類型。目前判定物鏡色差的方式以人眼判別為主。通過目視成像定性判定物鏡色差。

根據ISO 19012-2標準《顯微鏡-顯微鏡物鏡2色差》的定義，物鏡的色差類型判定如下：

(1)消色差：紅藍光焦點距離的絕對值小于物鏡2倍焦深；

(2)半復消色差：紅綠光焦點距離與藍綠光焦點距離的差值小于2.5倍焦深；

(3)復消色差：紅綠光焦點距離與藍綠光焦點距離的差值小于1倍焦深；

其中用于判定色差的三色光波長分別為：參考光綠光(546.07nm)、藍光(479.99nm)、紅光(643.85nm)。

根據上述的標準，如果需要判定物鏡的色差類型就需要對物鏡色差進行定量檢測。而高倍物鏡的焦深為0.2u，考慮到0.2u的測量范圍，需要采用納米平臺來進行高精度測量，而納米平臺成本昂貴，且對操作環境包括防震要求較高，這種測量對誤差控制的要求很高，容易影響判斷結果。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種成本低、精度高且結果穩定的高倍物鏡色差的定量檢測裝置和檢測方法。

本發明解決上述技術問題所采用的技術方案為：一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置，該裝置包括依次設置的紅綠藍三色光源、可升降調節載物臺、標靶和觀察筒，所述的標靶設置在所述的可升降調節載物臺上，所述的觀察筒遠離所述的標靶的一端設置有攝像頭，所述的觀察筒靠近所述的標靶的一端設置有物鏡安裝結構，所述的觀察筒內設置有可沿所述的觀察筒軸向移動的觀察鏡，所述的觀察筒的側面設置有與所述的觀察鏡連接的觀察鏡移動裝置，所述的觀察鏡移動裝置上設置有移動距離測量部件，當所述的觀察鏡位于零位時，攝像頭位于所述的觀察鏡的焦面上。

所述的三色光源中綠色光源的波長為546.07nm，藍色光源的波長為479.99nm，紅色光源的波長為643.85nm。

所述的標靶為邊上不透光，中間設置有透光的小孔靶像或則十字線靶像的觀察片。

所述的觀察鏡移動裝置是微距調節部件。

使用上述檢測裝置定量檢測高倍物鏡色差的方法，具體步驟如下：

1)將待檢測物鏡安裝在物鏡安裝結構上，將觀察鏡置于零位，將當前測量部件位置記為X_GREEN；

2)將光源調節為綠色光源，調節載物臺，使得標靶到達在攝像頭的成像最清晰位置；

3)將光源更換為藍色光源，調節觀察鏡移動裝置上下移動觀察鏡，使得藍光下標靶在攝像頭成像達到最清晰，通過移動距離測量部件記錄當前的位置，記為X_BLUE；

4)再將光源更換為紅色光源，調節觀察鏡移動裝置上下移動觀察鏡，使得紅光下標靶在攝像頭成像達到最清晰，通過移動距離測量部件記錄當前的位置，記為X_RED；