[發明專利]一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置和檢測方法

有效

• 申請號: 201711039154.1
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107966274B
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 張克奇;邱元芳;毛磊;余俊群;呂威;曾志
• 申請（專利權）人: 寧波永新光學股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 寧波奧圣專利代理事務所(普通合伙) 33226
• 代理人: 程曉明

1.一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置，其特征在于該裝置包括依次設置的紅綠藍三色光源、可升降調節載物臺、標靶和觀察筒，所述的標靶設置在所述的可升降調節載物臺上，所述的觀察筒遠離所述的標靶的一端設置有攝像頭，所述的觀察筒靠近所述的標靶的一端設置有物鏡安裝結構，所述的觀察筒內設置有可沿所述的觀察筒軸向移動的觀察鏡，所述的觀察筒的側面設置有與所述的觀察鏡連接的觀察鏡移動裝置，所述的觀察鏡移動裝置上設置有移動距離測量部件，當所述的觀察鏡位于零位時，攝像頭位于所述的觀察鏡的焦面上。

2.如權利要求1所述的一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置，其特征在于所述的三色光源中綠色光源的波長為546.07nm，藍色光源的波長為479.99nm，紅色光源的波長為643.85nm。

3.如權利要求1所述的一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置，其特征在于所述的標靶為邊上不透光，中間設置有透光的小孔靶像或則十字線靶像的觀察片。

4.如權利要求1所述的一種高倍物鏡色差的定量檢測裝置，其特征在于所述的觀察鏡移動裝置是微距調節部件。

5.使用權利要求1檢測裝置定量檢測高倍物鏡色差的方法，其特征在于具體步驟如下：

1)將待檢測物鏡安裝在物鏡安裝結構上，將觀察鏡置于零位，將當前測量部件位置記為X_GREEN；

2)將光源調節為綠色光源，調節載物臺，使得標靶到達在攝像頭的成像最清晰位置；

3)將光源更換為藍色光源，調節觀察鏡移動裝置上下移動觀察鏡，使得藍光下標靶在攝像頭成像達到最清晰，通過移動距離測量部件記錄當前的位置，記為X_BLUE；

4)再將光源更換為紅色光源，調節觀察鏡移動裝置上下移動觀察鏡，使得紅光下標靶在攝像頭成像達到最清晰，通過移動距離測量部件記錄當前的位置，記為X_RED；

5)計算(X_RED-X_BLUE)、(X_RED-X_GREEN)和(X_BLUE-X_GREEN)的絕對值，并除以整個檢測裝置的成像倍率的平方，得到物鏡的色差值。