[發明專利]一種智能嗅覺氣味陣列傳感器及制作方法

在審

• 申請號: 201711036310.9
• 申請日: 2017-10-30
• 公開（公告）號: CN107643326A
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 吳青海;吳云翔;張輝
• 申請（專利權）人: 智能（廈門）傳感器有限公司
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種智能嗅覺氣味陣列傳感器，其組成包括：芯片（1），其特征是：所述的芯片（1）上表面設置有電絕緣層（3），所述的電絕緣層（3）內設置有加熱器（2）和測溫器（6），所述的測溫器（6）設置在加熱器（2）之間，所述的電絕緣層（3）上表面設置有不同類型的氣味傳感器膜層（5），不同類型所述的氣味傳感器膜層（5）成陣列布置，所述的氣味傳感器膜層（5）里嵌入不同類型氣味傳感器（7），所述的不同類型氣味傳感器（7）上設置有傳感器電極（4），所述的電絕緣層（3）上表面兩側設置有數個電極引線柱（8）。

2.根據權利要求1所述的智能嗅覺氣味陣列傳感器，其特征是：數個所述的電極引線柱（8）用于支撐芯片（1）兼充導電引線。

3.根據權利要求1或2所述的智能嗅覺氣味陣列傳感器的制作方法，其特征是：

第一：利用微電子平面技術光刻，擴散，蒸發技術基片上制造加熱器，測溫器電極；

第二：在上述電極上覆蓋電絕緣層 ；

第三：在電電絕緣層上制造各種類型傳感器的電極引線；

第五：在上述各種類型傳感器的電極引線上的限定區域，分別制造不同類型的氣味傳感器薄膜；

第六：對各種類型氣味傳感器膜層進行納米化，使其顆粒具有最高的表面積/體積比。