[發明專利]一種直接合成大顆粒碳化硅粉的方法有效
| 申請號： | 201711034670.5 | 申請日： | 2017-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN107640773B | 公開（公告）日： | 2020-06-02 |
| 發明（設計）人： | 徐所成;徐永寬;李璐杰;張皓;郭森;張政;程紅娟 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十六研究所 |
| 主分類號： | C01B32/984 | 分類號： | C01B32/984 |
| 代理公司： | 天津中環專利商標代理有限公司 12105 | 代理人： | 王鳳英 |
| 地址： | 300220*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 直接 合成 顆粒 碳化硅 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種直接合成大顆粒碳化硅粉的方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟一：將高純石墨和高純硅粉按質量比為1:2-1:2.5稱量，均勻混合后裝入石墨坩堝中；
步驟二：將裝有高純石墨和高純硅粉的石墨坩堝蓋上石墨結晶板后放入感應爐中，抽真空4-10小時，真空度達到10-5mbar；
步驟三：將溫度迅速升至1300-1600℃，充入氬氣或氬氣和氫氣的混合氣體，氬氣流量為0.1-5L/min，氫氣流量為0-1L/min，壓力為300-500mbar，并保溫2-4小時；
步驟四：將溫度迅速升至1800-2300℃，壓力為10-50mbar，升溫速率為10-30℃/min，保溫2-10小時；
步驟五：取出石墨結晶板并粉碎，即得到石墨結晶板孔洞中的大顆粒碳化硅粉；
所述的石墨結晶板厚度為10-30mm，石墨結晶板上均勻打有直徑為5-20mm的孔。
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