[發明專利]從形成在襯底上的固化圖案層分離納米壓印模板的設備和方法

有效

• 申請號: 201711029734.2
• 申請日: 2017-10-30
• 公開（公告）號: CN108020986B
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 崔炳鎮
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 林振波

1.一種從形成在襯底上的固化圖案層分離納米壓印模板的方法，模板由連接到壓印頭的模板卡盤或者模板保持架保持，該方法包括以下步驟：

(a)使壓印頭向上移動，導致模板相對于襯底移動，以產生施加到模板和襯底的張力，張力引發模板和襯底彎曲，并且這種彎曲產生了存儲在模板和襯底中的存儲能量，其中，模板和襯底的背側中心具有背側空心區域；

(b)測量施加到模板和襯底的張力；

(c)判定施加到模板背側和襯底背側的壓力大小，以便壓印頭的向上移動距離與接觸區域和分離區域之間分界線所限定的接觸半徑的關系曲線的斜率在接近分離處理結束時或在整個分離處理期間為恒定；

(d)將判定了大小的壓力施加到模板背側和襯底背側；和

(e)重復步驟(a)至(d)一次或者多次，直到模板完全從固化圖案層分離為止。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(d)通過將壓力施加到模板背側或襯底背側來抵消存儲能量。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(d)將張力減小至零或者低于零。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，在整個分離期間所施加張力的大小不超過6N。

5.根據權利要求1所述的方法，還包括在模板完全從固化圖案層分離之后去除所施加背壓的步驟。

6.一種從形成在襯底上的固化圖案層分離納米壓印模板的設備，包括：

配置成保持模板的模板卡盤或者模板保持架，模板卡盤或者模板保持架連接到壓印頭，模板的背側中心具有背側空心區域；

配置成保持襯底的襯底卡盤或者襯底保持架，襯底的背側中心具有背側空心區域；

致動器系統，配置成調節模板和襯底相對于彼此的位置；

力檢測系統，配置成檢測在模板從形成在襯底上的固化圖案層分離期間施加到模板和襯底的張力的大小，張力引發模板和襯底彎曲，并且這種彎曲產生了存儲在模板和襯底中的存儲能量，其中，壓印頭向上移動導致模板相對于襯底移動；

壓力系統，配置成將背壓施加到模板或襯底或者模板和襯底；和

控制器，其與力檢測系統和壓力系統通訊，控制器配置成：

根據檢測到的施加到模板和襯底的張力大小來判定施加到模板背側和襯底背側的壓力大小，以便壓印頭的向上移動距離與接觸區域和分離區域之間分界線所限定的接觸半徑的關系曲線的斜率在接近分離處理結束時或在整個分離處理期間為恒定，并且

向壓力系統提供信號，以使得壓力系統將判定了大小的背壓施加到模板和襯底。

7.根據權利要求6所述的設備，其中，控制器還配置成重復壓力判定步驟和信號提供步驟，直到模板完全從固化圖案層分離為止。

8.根據權利要求6所述的設備，其中，控制器還配置成判定施加到模板背側和襯底背側的壓力大小，以抵消所述存儲能量。

9.根據權利要求6所述的設備，其中，控制器還配置成判定施加到模板背側和襯底背側的壓力大小，以將施加的張力減小至零或低于零。

10.一種制造產品的方法，該方法包括：

根據權利要求1的方法從形成在襯底上的固化圖案層分離納米壓印模板；和

將固化圖案層的圖案轉移到襯底，以產出產品。

11.根據權利要求10所述的方法，其中，產品是復制模板。