[發明專利]單位掩膜、其制造方法及包括其的掩膜組件

有效

• 申請號: 201711015844.3
• 申請日: 2017-10-26
• 公開（公告）號: CN107761055B
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 呂守華;黃俊杰
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;王衛忠

本發明提供了一種單位掩膜、其制造方法及包括其的掩膜組件。單位掩膜包括：掩膜體，沿長度方向和寬度方向延伸，并且在掩膜體上形成有掩膜圖案；以及夾緊部，沿掩膜體的長度方向從掩膜體的端部延伸出，其中，在夾緊部上形成有防滑圖案。該單位掩膜能夠提高使用夾具夾持并拉伸單位掩膜時的張網精度。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種單位掩膜、其制造方法及包括其的掩膜組件。

背景技術

在諸如液晶顯示裝置(LCD)和有機發光顯示裝置(OLED)的制造過程中，通常使用利用諸如精細金屬掩膜板(FMM)的掩膜組件的蒸鍍法來形成有特定圖案的有機層或金屬層。

掩膜組件通常包括多個單位掩膜(即，掩膜條)和支撐多個單位掩膜的掩膜框架。

使用夾具(張緊器)夾持單位掩膜并向外拉伸，達到預定參數后，將單位掩膜通過例如焊接固定到掩膜框架上，從而形成掩膜組件。這一過程通常被稱為張網。

為了精確地布置單位掩膜而防止蒸鍍不良，需要提高張網精度。

發明內容

本發明提供了一種單位掩膜、其制造方法以及包括其的掩膜組件，能夠提高在使用夾具夾持并拉伸單位掩膜來制造掩膜組件時的張網精度。

根據本發明的一方面，提供了一種單位掩膜，包括：掩膜體，沿長度方向和寬度方向延伸，并且在掩膜體上形成有掩膜圖案；以及夾緊部，沿掩膜體的長度方向從掩膜體的端部延伸出，其中，在夾緊部上形成有防滑圖案。

根據本發明的實施例，防滑圖案可以包括形成在夾緊部上的多個突起。

根據本發明的實施例，多個突起可以通過刻蝕工藝形成。

根據本發明的實施例，沿著垂直于夾緊部的表面的方向觀看，突起可以包括條形、圓形、四邊形和＜形中的至少一種形狀。

根據本發明的實施例，突起的上端與掩膜體的表面可以位于同一平面上。

根據本發明的實施例，夾緊部包括彼此相對的第一側和第二側，防滑圖案可以形成在第一側和第二側中的至少一側上。

根據本發明的實施例，掩膜體的一個端部延伸出的夾緊部可以包括成對的延伸部分，成對的延伸部分在掩膜體的寬度方向上彼此分隔開。

根據本發明的實施例，防滑圖案可以形成在延伸部分上。

根據本發明的實施例，單位掩膜還可以包括：位于掩膜體與夾緊部之間的連接部，其中，連接部用于固定到掩膜組件的框架上。

根據本發明的實施例，掩膜體和夾緊部可以一體地形成。

根據本發明的實施例，單位掩膜可以為帶狀。

根據本發明的另一方面，提供了一種制造上述單位掩膜的方法，包括：提供單位掩膜的前體板，前體板包括與掩膜體對應的第一區域和與夾緊部對應的第二區域；在第一區域上形成掩膜圖案；以及在第二區域上形成防滑圖案。

根據本發明的又一方面，提供了一種掩膜組件，包括：掩膜框架，形成有開口部；多個前述單位掩膜，固定于掩膜框架上以使單位掩膜的掩膜圖案形成在開口部上。

在本發明中，在單位掩膜的用于被夾具夾持以進行張網操作的夾緊部上形成有防滑圖案，因此在夾具對單位掩膜施加拉力以進行張網操作時，可以增大夾具與單位掩膜之間的摩擦力而防止夾具與單位掩膜之間的相對滑動，從而可以提高張網精度。

附圖說明

包括附圖以提供對本發明的進一步理解，附圖并入本申請并組成本申請的一部分，附圖示出了本發明的實施例，并與描述一起用于解釋本發明的原理。在附圖中：

圖1是示出根據本發明的示例性實施例的單位掩膜的示意圖；