[發(fā)明專(zhuān)利]77GHz毫米波雷達(dá)天線銳利度及線路加工精度處理方式在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711013235.4 | 申請(qǐng)日: | 2017-10-26 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN108055782A | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-05-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 沈劍祥;張仁軍;陳云峰;魏常軍 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 廣德寶達(dá)精密電路有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H05K3/06 | 分類(lèi)號(hào): | H05K3/06;H05K3/24 |
| 代理公司: | 合肥鼎途知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34122 | 代理人: | 葉丹 |
| 地址: | 242200 安徽省宣城市廣德經(jīng)濟(jì)*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 77 ghz 毫米波 雷達(dá) 天線 銳利 線路 加工 精度 處理 方式 | ||
本發(fā)明公開(kāi)了77GHz毫米波雷達(dá)天線銳利度及線路加工精度處理方式,通過(guò)依次進(jìn)行減薄銅工藝處理、沉銅處理、菲林制作工藝處理、電鍍處理、線路PAD位增加增益補(bǔ)償工藝處理以及蝕刻工藝處理,本發(fā)明的有益效果是:該發(fā)明是77GHz毫米波雷達(dá)天線銳利度及線路加工精度處理方式,通過(guò)化學(xué)法對(duì)天線面進(jìn)行減銅,保證減銅均勻性;點(diǎn)鍍技術(shù),控制天線區(qū)域銅厚及其均勻性,對(duì)天線PAD位進(jìn)行增益補(bǔ)償、保證天線PAD面的線寬精度和銳利度;信號(hào)穩(wěn)定傳輸,增強(qiáng)產(chǎn)品使用精度,提升產(chǎn)品可靠性;縮短產(chǎn)品研發(fā)時(shí)間、節(jié)約產(chǎn)品開(kāi)發(fā)投入。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及電子信息技術(shù)領(lǐng)域,具體為77GHz毫米波雷達(dá)天線銳利度及線路加工精度處理方式。
背景技術(shù)
雷達(dá)用來(lái)輻射和接收電磁波并決定其探測(cè)方向的設(shè)備。雷達(dá)在發(fā)射時(shí)須把能量集中輻射到需要照射的方向;而在接收時(shí)又盡可能只接收探測(cè)方向的回波,同時(shí)分辨出目標(biāo)的方位和仰角,或二者之一。雷達(dá)測(cè)量目標(biāo)位置的三個(gè)坐標(biāo)(方位、仰角和距離)中,有兩個(gè)坐標(biāo)(方位和仰角)的測(cè)量與天線的性能直接有關(guān)。因此,天線性能對(duì)于雷達(dá)設(shè)備比對(duì)于其他電子設(shè)備(如通信設(shè)備等)更為重要。
現(xiàn)有的雷達(dá)天線存在以下缺點(diǎn):
缺點(diǎn)1:天線PAD位蝕刻后無(wú)法實(shí)現(xiàn)直角或者銳利度≤20um,無(wú)法達(dá)到預(yù)期的信號(hào)要求。
缺點(diǎn)2:銅厚無(wú)法準(zhǔn)確控制,均勻性差,蝕刻后線路完整性差。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是通過(guò)下述技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)77GHz毫米波雷達(dá)天線銳利度及線路加工精度處理方式,包括以下步驟:
步驟1:首先將目標(biāo)板進(jìn)行減薄銅工藝處理,通過(guò)藥水對(duì)目標(biāo)板的板面銅厚進(jìn)行微蝕處理,得到基礎(chǔ)板;
步驟2:將步驟1中得到的基礎(chǔ)板進(jìn)行沉銅處理,使基礎(chǔ)板的銅面上沉上一層化學(xué)薄銅,得到薄銅板;
步驟3:將在步驟2中的薄銅板的外層線路上進(jìn)行電鍍菲林制作工藝處理,該工藝在Genesis軟件上進(jìn)行計(jì)算機(jī)輔助制造,并實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制電鍍,得到具有規(guī)定厚度的基礎(chǔ)電路板;
步驟4:將步驟3中得到的基礎(chǔ)電路板外層進(jìn)行電鍍處理,使其表面形成一層金屬層,得到金屬板;
步驟5:將步驟4中得到的金屬板上的外層線路,在Genesis軟件上進(jìn)行計(jì)算機(jī)輔助制造,并實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制電鍍,對(duì)外層線路進(jìn)行線路PAD位增加增益補(bǔ)償工藝處理;
步驟6:將步驟5中進(jìn)行過(guò)線路PAD位增加增益補(bǔ)償工藝處理后的金屬板進(jìn)行蝕刻工藝處理,從未實(shí)現(xiàn)PAD位為直角或者銳利度不大于20um。
本發(fā)明中,所述減薄銅工藝處理所用的藥水由硫酸和雙氧水組成,且反應(yīng)化學(xué)式為:H2SO4+H2O2+Cu=CuSO4+2H2O。
本發(fā)明中,所述電鍍菲林制作工藝處理包括點(diǎn)鍍菲林擋點(diǎn),所述擋點(diǎn)尺寸比孔徑單邊小0~3mil。
本發(fā)明中,所述線路PAD位增加增益補(bǔ)償工藝處理的增益補(bǔ)償增益補(bǔ)償方式為目標(biāo)PAD角增加三角PAD、方PAD、圓PAD或淚滴的方式。
本發(fā)明中,所述減薄銅工藝處理中,板面銅厚極差<5um。
本發(fā)明中,所述Genesis軟件上進(jìn)行計(jì)算機(jī)輔助制造包括對(duì)外層線路的線路曝光對(duì)準(zhǔn)度控制和顯影側(cè)蝕控制。
本發(fā)明的有益效果是:該發(fā)明是77GHz毫米波雷達(dá)天線銳利度及線路加工精度處理方式,通過(guò)化學(xué)法對(duì)天線面進(jìn)行減銅,保證減銅均勻性;點(diǎn)鍍技術(shù),控制天線區(qū)域銅厚及其均勻性,對(duì)天線PAD位進(jìn)行增益補(bǔ)償、保證天線PAD面的線寬精度和銳利度;信號(hào)穩(wěn)定傳輸,增強(qiáng)產(chǎn)品使用精度,提升產(chǎn)品可靠性;縮短產(chǎn)品研發(fā)時(shí)間、節(jié)約產(chǎn)品開(kāi)發(fā)投入。
附圖說(shuō)明
圖1是本發(fā)明整體流程工藝圖;
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