[發(fā)明專利]液浸構(gòu)件及曝光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711011972.0
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN107728434B
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 柴崎祐一
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 湯在彥

1.一種液浸構(gòu)件，是以從光學(xué)構(gòu)件的射出面射出的曝光用光的光路被液體充滿的方式，在能于該光學(xué)構(gòu)件下方移動的物體上形成液浸空間，具備：

第1構(gòu)件，配置在該光學(xué)構(gòu)件周圍的至少一部分，具有第1面；

第2構(gòu)件，能相對于該第1構(gòu)件移動，具有與該第1面對向的第2面及回收該液浸空間的液體的至少一部分的回收口；

供氣口，配置在該第1面及該第2面中的至少一方、將氣體供應(yīng)至該第1面與該第2面的間隙；以及

排氣口，配置在該第1面及該第2面中的至少一方、排出該間隙的氣體的至少一部分。

2.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，借由自該供氣口的氣體供應(yīng)及自該排氣口的氣體排出，在該間隙形成氣體軸承。

3.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第2構(gòu)件能與和該光學(xué)構(gòu)件的光軸垂直的面平行的移動。

4.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第2構(gòu)件能在該第1構(gòu)件與該物體之間移動。

5.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第2構(gòu)件，是在該第2構(gòu)件與該物體之間的空間中至少一部分存在該液體的狀態(tài)下，與該物體的移動的至少一部分并行移動。

6.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第2構(gòu)件能一邊從該回收口回收該液體、一邊移動。

7.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該回收口被配置成該物體與之對向。

8.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第1構(gòu)件不移動。

9.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第2構(gòu)件被支承為可移動。

10.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第1面垂直于該光學(xué)構(gòu)件的光軸；

該第2構(gòu)件沿該第1面移動。

11.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第1構(gòu)件進(jìn)一步具有配置在從該射出面射出的該曝光用光可通過的開口周圍、能在該第1構(gòu)件與該物體之間保持該液體的下面；以及

該第1面是在該下面周圍、配置在較該下面上方之處。

12.如權(quán)利要求11所述的液浸構(gòu)件，其中，該第2構(gòu)件進(jìn)一步具有該物體可對向的下面；以及

該第2構(gòu)件的下面配置在較該第1構(gòu)件的下面上方之處。

13.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其中，該第1構(gòu)件是隔著間隙配置在該光學(xué)構(gòu)件周圍。

14.如權(quán)利要求1所述的液浸構(gòu)件，其進(jìn)一步具有供應(yīng)用以形成該液浸空間的液體的供應(yīng)口。

15.如權(quán)利要求14所述的液浸構(gòu)件，其中，該供應(yīng)口是配置于該第1構(gòu)件。

16.一種液浸構(gòu)件，是以從光學(xué)構(gòu)件的射出面射出的曝光用光的光路被液體充滿的方式，在能于該光學(xué)構(gòu)件下方移動的物體上形成液浸空間，具備：

第1構(gòu)件，配置在該光學(xué)構(gòu)件周圍的至少一部分，具有第1面；以及

第2構(gòu)件，能相對于該第1構(gòu)件移動，具有與該第1面對向的第2面及回收該液浸空間的液體的至少一部分的回收口；

在該第1面與該第2面間的間隙形成氣體軸承。

17.如權(quán)利要求16所述的液浸構(gòu)件，其中，該第2構(gòu)件能與和該光學(xué)構(gòu)件的光軸垂直的面平行的移動。

18.如權(quán)利要求16所述的液浸構(gòu)件，其中，該第2構(gòu)件能在該第1構(gòu)件與該物體之間移動。