[發(fā)明專利]掩膜裝置及其掩膜組件、掩膜板

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201711006716.2
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN107653435A
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇君海;龔建國;吳俊雄;冉應(yīng)剛;柯賢軍;李建華
• 申請（專利權(quán)）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 葉劍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光顯示制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及掩膜裝置及其掩膜組件、掩膜板。

背景技術(shù)

AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極體)生產(chǎn)制程中最影響良率的制程為蒸鍍制程，蒸鍍制程的基本過程即通過加熱有機(jī)材料，使得有機(jī)材料蒸發(fā)，并通過高精度精細(xì)掩膜板蝕刻完成的通孔蒸鍍到玻璃基板上，形成發(fā)光單元。蒸鍍制程中，蒸發(fā)后的有機(jī)材料通過掩膜板的有效區(qū)的通孔蒸鍍到基板上，形成顯示屏的AA(Ative Area，有效顯示區(qū)域)區(qū)，AA區(qū)也稱顯示區(qū)，也就是掩膜板的有效區(qū)對應(yīng)顯示屏的AA區(qū)。

目前傳統(tǒng)的掩模板通常設(shè)計(jì)為Divide(單條的形式)，以對應(yīng)某一種產(chǎn)品型號，最后再分別將多條的掩模板分別焊接到掩模板框架上，以對應(yīng)基板的產(chǎn)品排版，此種方式雖能滿足目前生產(chǎn)，但在實(shí)際中存在如下方面的問題；

1：由于掩模板為單條的形式，在制作掩膜板時，通常需要在掩膜板的蝕刻有效區(qū)，并在有效區(qū)的周圍的不同形狀的Dummy(預(yù)留區(qū))部分蝕刻，以保證掩模板在張網(wǎng)力的影響下，有效區(qū)和預(yù)留區(qū)的力學(xué)性能盡可能一致，減少變形；但此種單條的掩膜板的的制造工藝比較復(fù)雜，通常需要多次曝光以分別對應(yīng)蝕刻出有效區(qū)蝕刻孔和預(yù)留區(qū)的蝕刻孔；

2：掩模板通常需要根據(jù)具體的產(chǎn)品型號進(jìn)行設(shè)計(jì)，之后再進(jìn)行刻蝕制造，而由于掩模板制造周期通常比較長，而顯示屏的產(chǎn)品型號更新較快，所以此種方法不能快速的對應(yīng)市場產(chǎn)品需求；

3：由于利用單條掩膜板的焊接形式，最終基板的排版只能對應(yīng)某一種產(chǎn)品型號，無法合理利用排版中的空閑位置，使得玻璃基板排版的利用率較低，造成生產(chǎn)成本較高。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種掩膜裝置及其掩膜組件、掩膜板。

一種掩膜裝置，包括掩膜組件和掩膜框架，所述掩膜組件包括一掩膜板和一遮擋件；

所述掩膜板的邊沿與所述掩膜框架連接；

所述掩膜板上均勻開設(shè)有若干通孔，各所述通孔的形狀相同，且各所述通孔的尺寸相等，所述遮擋件開設(shè)有若干通口；

所述遮擋件抵接于所述掩膜板，各所述通口分別對齊于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口與對齊的各所述通孔連通，所述遮擋件擋設(shè)于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。

在一個實(shí)施例中，各所述通口形狀相同。

在一個實(shí)施例中，各所述通口中至少有兩個所述通口的形狀相異。

在一個實(shí)施例中，所述通口的形狀為不規(guī)則形狀。

在一個實(shí)施例中，所述遮擋件為遮擋膜。

在一個實(shí)施例中，各所述通孔呈矩形陣列設(shè)置。

一種掩膜組件，包括一掩膜板和一遮擋件；

所述掩膜板上均勻開設(shè)有若干通孔，各所述通孔的形狀相同，且各所述通孔的尺寸相等，所述遮擋件開設(shè)有若干通口；

所述遮擋件抵接于所述掩膜板，各所述通口分別對齊于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口與對齊的各所述通孔連通，所述遮擋件擋設(shè)于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。

在一個實(shí)施例中，各所述通口形狀相同。

在一個實(shí)施例中，各所述通口中至少有兩個所述通口的形狀相異。

一種掩膜板，所述掩膜板的邊沿用于與一掩膜框架連接，所述掩膜板上均勻開設(shè)有若干通孔，各所述通孔的形狀相同，且各所述通孔的尺寸相等。

上述掩膜裝置及其掩膜組件、掩膜板，掩膜框架上僅設(shè)置一個掩膜板，并且掩膜板為一整體，其上均勻開設(shè)通孔，通過遮擋件對掩膜板進(jìn)行遮擋，使得蒸鍍材料通過通口和通孔蒸鍍成與通口的形狀對應(yīng)的顯示區(qū)，一方面，掩膜板無需根據(jù)不同顯示區(qū)設(shè)置不同的預(yù)留區(qū)，只需整體進(jìn)行蝕刻，減少了蝕刻工序，降低了工藝復(fù)雜度，此外，由于掩膜板整體均勻開設(shè)通孔，使得掩膜板的各部分的力學(xué)性能趨于一致，有效減少形變，使得蒸鍍效果更佳，另一方面，通過設(shè)置不同形狀的通口，使得掩膜裝置能夠同時蒸鍍不同形狀的顯示區(qū)，有效利用空閑位置，提高玻璃基板的利用率，提高蒸鍍效率，并且有效降低生產(chǎn)成本，此外，對應(yīng)不同的顯示屏的需求，僅設(shè)置對應(yīng)的遮擋件即可，無需重新設(shè)計(jì)掩膜板，能夠快速適應(yīng)產(chǎn)品更新需求。

附圖說明

圖1為一個實(shí)施例的掩膜裝置的立體分解結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為一個實(shí)施例的掩膜板的一方向結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為一個實(shí)施例的遮擋件的一方向結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式