[發明專利]掩膜裝置及其掩膜組件、掩膜板在審
| 申請號： | 201711006716.2 | 申請日： | 2017-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN107653435A | 公開（公告）日： | 2018-02-02 |
| 發明（設計）人： | 蘇君海;龔建國;吳俊雄;冉應剛;柯賢軍;李建華 | 申請（專利權）人： | 信利（惠州）智能顯示有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224 | 代理人： | 葉劍 |
| 地址： | 516029 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 及其 組件 掩膜板 | ||
1.一種掩膜裝置，其特征在于，包括掩膜組件和掩膜框架，所述掩膜組件包括一掩膜板和一遮擋件；
所述掩膜板的邊沿與所述掩膜框架連接；
所述掩膜板上均勻開設有若干通孔，各所述通孔的形狀相同，且各所述通孔的尺寸相等，所述遮擋件開設有若干通口；
所述遮擋件抵接于所述掩膜板，各所述通口分別對齊于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口與對齊的各所述通孔連通，所述遮擋件擋設于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。
2.根據權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，各所述通口形狀相同。
3.根據權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，各所述通口中至少有兩個所述通口的形狀相異。
4.根據權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述通口的形狀為不規則形狀。
5.根據權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述遮擋件為遮擋膜。
6.根據權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，各所述通孔呈矩形陣列設置。
7.一種掩膜組件，其特征在于，包括一掩膜板和一遮擋件；
所述掩膜板上均勻開設有若干通孔，各所述通孔的形狀相同，且各所述通孔的尺寸相等，所述遮擋件開設有若干通口；
所述遮擋件抵接于所述掩膜板，各所述通口分別對齊于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口與對齊的各所述通孔連通，所述遮擋件擋設于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。
8.根據權利要求7所述的掩膜組件，其特征在于，各所述通口形狀相同。
9.根據權利要求7所述的掩膜組件，其特征在于，各所述通口中至少有兩個所述通口的形狀相異。
10.一種掩膜板，所述掩膜板的邊沿用于與一掩膜框架連接，其特征在于，所述掩膜板上均勻開設有若干通孔，各所述通孔的形狀相同，且各所述通孔的尺寸相等。
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