[發明專利]掩膜板

有效

• 申請號: 201711006705.4
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN107815641B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 蘇君海;龔建國;吳俊雄;冉應剛;柯賢軍;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 葉劍

本發明涉及一種掩膜板，包括預留區和至少一個有效蒸鍍區，所述預留區設置于所述有效蒸鍍區的外側；所述至少一個有效蒸鍍區開設有若干第一通孔；所述預留區開設有若干第二通孔，所述第二通孔的形狀與所述第一通孔的形狀相同，且所述第二通孔的尺寸與所述第一通孔的尺寸相等，且所述第二通孔之間的間距與所述第一通孔之間的間距相等。通過在有效蒸鍍區外側的預留區開設第二通孔，由于第二通孔的形狀、尺寸以及間距與第一通孔的形狀、尺寸以及間距相同，預留區具有與有效蒸鍍區具有相同的力學性能，預留區和有效蒸鍍區具有相同的應力特性，使得預留區和有效蒸鍍區之間不容易產生褶皺，有效避免像素混色，使得蒸鍍效果更佳，提高AMOLED的良率。

技術領域

本發明涉及有機發光顯示制造技術領域，特別是涉及掩膜板。

背景技術

AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩陣有機發光二極體)生產制程中最影響良率的制程為蒸鍍制程，蒸鍍制程的基本過程即通過加熱有機材料，使得有機材料蒸發，并通過高精度精細掩膜板蝕刻完成的通孔蒸鍍到玻璃基板上，形成發光單元。

高精度精細掩膜板通常通過蝕刻方法制作。高精度精細掩膜板厚度≤40um，由于其厚度較小，因此，傳統的高精度精細掩膜板非常柔軟，極易變形。為了防止掩膜板變形，目前傳統的高精度精細掩膜板的設計方案通常需要在蒸鍍的有效區之外設置Dummy(預留)區，通過Dummy區來減少因高精度精細掩膜板在張網力作用下的變形；然而傳統的高精度精細掩膜板的設計方案因有效區和Dummy之間會存在不被蝕刻的實體部分，導致高精度精細掩膜板整體的力學性能參數不一樣，在張網受力的影響下容易產生褶皺，褶皺的產生會使得蒸鍍產品產生混色，混色的產生會嚴重影響AMOLED的良率。

發明內容

基于此，有必要提供一種掩膜板。

一種掩膜板，其特征在于，包括預留區和至少一個有效蒸鍍區，所述預留區設置于所述有效蒸鍍區的外側；

所述至少一個有效蒸鍍區開設有若干第一通孔；

所述預留區開設有若干第二通孔，所述第二通孔的形狀與所述第一通孔的形狀相同，且所述第二通孔的尺寸與所述第一通孔的尺寸相等，且所述第二通孔之間的間距與所述第一通孔之間的間距相等。

在其中一個實施例中，各所述第一通孔呈矩形陣列設置，各所述第二通孔呈矩形陣列設置，所述第二通孔的行間距與所述第一通孔的行間距相等，所述第二通孔的列間距與所述第一通孔的列間距相等，且至少部分所述第二通孔與所述第一所述通孔對齊設置。

在其中一個實施例中，所述第一通孔的行間距與列間距相等。

在其中一個實施例中，所述有效蒸鍍區的形狀為方形。

在其中一個實施例中，所述有效蒸鍍區的形狀為圓形。

在其中一個實施例中，所述有效蒸鍍區的形狀為不規則形狀。

在其中一個實施例中，所述第二通孔貫穿所述預留區的兩個相對的表面。

在其中一個實施例中，所述第一通孔和所述第二通孔分別具有圓形截面，且所述第一通孔的孔徑和所述第二通孔的孔徑相等。

在其中一個實施例中，所述第一通孔和所述第二通孔分別具有方形截面，且所述第一通孔的寬度和所述第二通孔的寬度相等。

在其中一個實施例中，所述第一通孔和所述第二通孔分別具有多邊形截面，且所述第一通孔的寬度和所述第二通孔的寬度相等。