[發明專利]掩膜板

有效

• 申請號: 201711006705.4
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN107815641B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 蘇君海;龔建國;吳俊雄;冉應剛;柯賢軍;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 葉劍

1.一種掩膜板，其特征在于，包括預留區和至少一個有效蒸鍍區，所述預留區設置于所述有效蒸鍍區的外側；

所述至少一個有效蒸鍍區開設有若干第一通孔；

所述預留區開設有若干第二通孔，所述第二通孔的形狀與所述第一通孔的形狀相同，且所述第二通孔的尺寸與所述第一通孔的尺寸相等，且所述第二通孔之間的間距與所述第一通孔之間的間距相等；各所述第一通孔呈矩形陣列設置，各所述第二通孔呈矩形陣列設置，所述第二通孔的行間距與所述第一通孔的行間距相等，所述第二通孔的列間距與所述第一通孔的列間距相等，且至少部分所述第二通孔與所述第一所述通孔對齊設置；

所述第一通孔的行間距等于所述第一通孔的列間距；所述第二通孔的行間距等于所述第二通孔的列間距；

所述掩膜板還包括擋膜，所述擋膜具有與所述預留區相同的形狀，且所述擋膜對齊所述預留區并抵接于所述預留區，所述擋膜擋設于所述第二通孔；

所述有效蒸鍍區的形狀為方形、圓形或不規則形狀；

所述第一通孔的位置精度小于10μm，所述第一通孔的寬度大于或等于20μm。

2.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，各所述第一通孔呈若干行和若干列排列設置，且相鄰兩行的所述第一通孔之間的行間距相等，相鄰兩列的所述第一通孔之間的列間距相等。

3.根據權利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔的行間距與列間距相等。

4.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，至少一行所述第二通孔與一行所述第一通孔對齊。

5.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，至少一列所述第二通孔與一行所述第一通孔對齊。

6.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔的寬度小于或等于30μm。

7.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二通孔貫穿所述預留區的兩個相對的表面。

8.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔分別具有圓形截面，且所述第一通孔的孔徑和所述第二通孔的孔徑相等。

9.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔分別具有方形截面，且所述第一通孔的寬度和所述第二通孔的寬度相等。

10.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔分別具有多邊形截面，且所述第一通孔的寬度和所述第二通孔的寬度相等。