[發明專利]自動測方阻設備

有效

• 申請號: 201710994286.3
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN107591342B
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 袁華斌
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
• 代理人: 鄭云

本發明涉及一種自動測方阻設備，通過控制部分控制上料區將裝滿硅片的花籃輸送至下片區，下片區將花籃內的硅片逐一卸下并輸送至第一緩存區，第一緩存區將硅片輸送至校正區，校正區將硅片校正后輸送至測試區進行方阻測試，通過方阻測試完成的硅片被輸送至第二緩存區，通過控制部分控制，跟設定標準對比后通過分片區分片后，將超過設定標準上限和超過設定標準下限的硅片分出，僅將方阻測試結果在正常范圍內的硅片輸送至上片區，并通過上片區將硅片放置在花籃上，最終將裝滿硅片的花籃通過下料區輸送出去；有效避免了人工取片與測片帶來的污染、破片與劃傷的問題；自動化測試硅片方阻，大大提高了測試效率，可完成批量檢測。

技術領域

本發明涉及太陽能電池片技術領域，尤其是涉及一種自動測方阻設備。

背景技術

目前太陽能電池片領域中，制作P-N結，即擴散為太陽能電池技術的核心，擴散工藝在爐管內進行高溫同磷源進行反應，在硅片表面生成磷單質，并通過高溫與硅原子發生替換進入硅晶體內部，形成N型半導體，與之前P型硅片接觸區域形成PN結。其中，判定擴散是否優良均是通過測試硅片表面方阻來體現。目前的測試設備均需要人工進行取片、測片和放片。不光效率低，期間不免有摩擦、破損和污染等不良現象；并且目前測試均是抽檢硅片，對于未檢測到的硅片，存在方阻異常流入下道工序的可能。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為了克服現有技術中的測試設備均需要人工進行取片、測片和放片。不光效率低，期間不免有摩擦、破損和污染等不良現象；并且目前測試均是抽檢硅片，對于未檢測到的硅片，存在方阻異常流入下道工序的問題，提供一種自動測方阻設備。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種自動測方阻設備，包括：包括上料部分、測試部分、下料部分和控制部分，所述上料部分包括上料區、下片區、第一緩存區和校正區，所述測試部分包括測試區，所述下料部分包括第二緩存區、分片區、上片區和下料區，所述上料區、下片區、第一緩存區、校正區、測試區、第二緩存區、分片區、上片區和下料區呈流水線依次設置，所述控制部分分別控制上料區、下片區、第一緩存區、校正區、測試區、第二緩存區、分片區、上片區和下料區。

本發明的自動測方阻設備，通過控制部分控制上料區將裝滿硅片的花籃輸送至下片區，下片區將花籃內的硅片逐一卸下并輸送至第一緩存區，第一緩存區將硅片輸送至校正區，校正區將硅片校正后輸送至測試區進行方阻測試，通過方阻測試完成的硅片被輸送至第二緩存區，通過控制部分控制，跟設定標準對比后通過分片區分片后，將超出超過設定標準上限和超過設定標準下限的硅片分出，僅將方阻測試結果在正常范圍內的硅片輸送至上片區，并通過上片區將硅片放置在花籃上，最終將裝滿硅片的花籃通過下料區輸送出去；通過自動化測試硅片方阻，有效避免了人工取片與測片帶來的污染、破片與劃傷的問題；自動化測試硅片方阻，大大提高了測試效率，可完成批量檢測。

進一步的，所述上料區包括傳輸裝置，兩組所述傳輸裝置上下間隔設置，所述傳輸裝置的右側固定安裝有光傳感器，所述光傳感器與所述控制部分電連接，位于上方的傳輸裝置用于輸送裝滿硅片的花籃，位于下方的傳輸裝置用于輸送空花籃。

進一步的，所述下片區包括下片裝置、夾緊裝置和輸送裝置，所述下片裝置包括聯動裝置和固定臺，所述聯動裝置驅動所述固定臺實現升降，所述夾緊裝置固定安裝在所述固定臺的上方，所述輸送裝置包括傳輸裝置和活動運輸裝置，所述傳輸裝置固定安裝在所述固定臺上，并位于所述夾緊裝置的正下方，所述活動運輸裝置位于夾緊裝置與傳輸裝置之間。

進一步的，所述第一緩存區和第二緩存區均包括聯動裝置、傳輸裝置和儲物籃，所述儲物籃罩設所述傳輸裝置，所述聯動裝置驅動所述儲物籃實現升降。

作為優選，所述儲物籃包括卡板，兩個所述卡板平行且間隔設置，所述傳輸裝置位于兩個所述卡板之間，所述卡板上開設有若干緩存槽，兩個所述卡板上的緩存槽一一對應設置，所述卡板上固定安裝有左、右光電傳感器，所述左、右光電傳感器分別位于緩存槽的兩端。