[發(fā)明專利]自動測方阻設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710994286.3
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN107591342B
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁華斌
• 申請（專利權(quán)）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32258
• 代理人: 鄭云

1.一種自動測方阻設(shè)備，其特征在于：包括上料部分、測試部分、下料部分和控制部分，所述上料部分包括上料區(qū)(1)、下片區(qū)(2)、第一緩存區(qū)(3)和校正區(qū)(4)，所述測試部分包括測試區(qū)(5)，所述下料部分包括第二緩存區(qū)(6)、分片區(qū)(7)、上片區(qū)(8)和下料區(qū)(9)，所述上料區(qū)(1)、下片區(qū)(2)、第一緩存區(qū)(3)、校正區(qū)(4)、測試區(qū)(5)、第二緩存區(qū)(6)、分片區(qū)(7)、上片區(qū)(8)和下料區(qū)(9)呈流水線依次設(shè)置，所述控制部分分別控制上料區(qū)(1)、下片區(qū)(2)、第一緩存區(qū)(3)、校正區(qū)(4)、測試區(qū)(5)、第二緩存區(qū)(6)、分片區(qū)(7)、上片區(qū)(8)和下料區(qū)(9)；所述上料區(qū)(1)包括傳輸裝置，兩組所述傳輸裝置上下間隔設(shè)置，所述傳輸裝置的右側(cè)固定安裝有右光電傳感器，所述右光電傳感器與所述控制部分電連接；所述下片區(qū)(2)包括下片裝置、夾緊裝置和輸送裝置，所述下片裝置包括聯(lián)動裝置和固定臺(2-1)，所述聯(lián)動裝置驅(qū)動所述固定臺(2-1)實現(xiàn)升降，所述夾緊裝置固定安裝在所述固定臺(2-1)的上方，所述輸送裝置包括傳輸裝置和活動運輸裝置，所述傳輸裝置固定安裝在所述固定臺(2-1)上，并位于所述夾緊裝置的正下方，所述活動運輸裝置位于夾緊裝置與傳輸裝置之間。

2.如權(quán)利要求1所述的自動測方阻設(shè)備，其特征在于：所述第一緩存區(qū)(3)和第二緩存區(qū)(6)均包括聯(lián)動裝置、傳輸裝置和儲物籃，所述儲物籃罩設(shè)所述傳輸裝置，所述聯(lián)動裝置驅(qū)動所述儲物籃實現(xiàn)升降。

3.如權(quán)利要求2所述的自動測方阻設(shè)備，其特征在于：所述儲物籃包括卡板(3-1)，兩個所述卡板(3-1)平行且間隔設(shè)置，所述傳輸裝置位于兩個所述卡板(3-1)之間，所述卡板(3-1)上開設(shè)有若干緩存槽(3-2)，兩個所述卡板(3-1)上的緩存槽(3-2)一一對應(yīng)設(shè)置，所述卡板(3-1)上固定安裝有左、右光電傳感器，所述左、右光電傳感器分別位于緩存槽(3-2)的兩端。

4.如權(quán)利要求1所述的自動測方阻設(shè)備，其特征在于：所述校正區(qū)(4)包括傳輸裝置、左、右光電傳感器和校準(zhǔn)裝置，所述校準(zhǔn)裝置包括呈排排列的滑輪組(4-1)和驅(qū)動裝置，兩組所述滑輪組(4-1)分別位于傳輸裝置的兩側(cè)，并與所述傳輸裝置平行設(shè)置，所述滑輪組(4-1)由驅(qū)動裝置驅(qū)動靠近或遠離傳輸裝置，所述左、右光電傳感器分別位于傳輸裝置的兩端。

5.如權(quán)利要求1所述的自動測方阻設(shè)備，其特征在于：所述測試區(qū)(5)包括傳輸裝置、測試平臺(5-1)、測試四探針面板和升降裝置，所述測試四探針面板固定安裝在所述測試平臺(5-1)上，所述測試平臺(5-1)位于所述所述傳輸裝置的正上方，所述升降裝置位于所述傳輸裝置的正下方，所述升降裝置上固定安裝有用于放置硅片的載物臺(5-2)，所述升降裝置驅(qū)動載物臺(5-2)上的硅片靠近或遠離測試平臺(5-1)，所述測試區(qū)(5)的左、右兩側(cè)分別固定安裝有左、右光電傳感器，所述左、右光電傳感器均與所述控制部分電連接。

6.如權(quán)利要求1所述的自動測方阻設(shè)備，其特征在于：所述分片區(qū)(7)包括傳輸裝置和運動裝置，所述傳輸裝置的左側(cè)固定安裝有左光電傳感器，所述左光電傳感器與所述控制部分電連接，所述運動裝置包括聯(lián)動裝置、升降裝置和吸盤(7-1)，所述聯(lián)動裝置位于所述傳輸裝置的正上方，用于驅(qū)動升降裝置向傳輸裝置的前方或后方移動，所述升降裝置滑動安裝在所述聯(lián)動裝置上，所述吸盤(7-1)固定安裝在所述升降裝置上。

7.如權(quán)利要求1所述的自動測方阻設(shè)備，其特征在于：所述上片區(qū)(8)包括上片裝置、夾緊裝置和輸送裝置，所述上片裝置包括聯(lián)動裝置和固定臺(2-1)，所述聯(lián)動裝置驅(qū)動所述固定臺(2-1)實現(xiàn)升降，所述夾緊裝置固定安裝在所述固定臺(2-1)的上方，所述輸送裝置包括傳輸裝置和活動運輸裝置，所述傳輸裝置固定安裝在所述固定臺(2-1)上，并位于所述夾緊裝置的正下方，所述活動運輸裝置位于夾緊裝置與傳輸裝置之間。