[發明專利]一種MEMS陀螺儀電路板檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201710993996.4
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN107817432B
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 武東;湯一;齊芳藝;要彥清;劉松;蔡童童
• 申請（專利權）人: 北京晨晶電子有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 11002 北京路浩知識產權代理有限公司
• 代理人: 王瑩;李相雨

本發明實施例提供一種MEMS陀螺儀電路板檢測的方法及裝置。該方法包括：向所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅動電路發送驅動檢測信號，所述驅動檢測信號用于接入所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅動電路；獲取所述驅動電路的驅動反饋信號；根據所述驅動反饋信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的功能狀態。檢測電路板根據陀螺儀工作原理向待測陀螺電路板各部分輸入檢測信號，利用待測電路板輸出的反饋信號實現對待測MEMS陀螺儀電路板進行測試，無需焊接；此外，通過將將檢測信號并行輸入各待測MEMS陀螺儀電路板，可以實現批量檢測，極大地提高了檢測效率。

技術領域

本發明實施例涉及檢測技術領域，特別涉及一種MEMS陀螺儀電路板檢測方法及裝置。

背景技術

隨著MEMS陀螺儀的需求逐漸增多，MEMS陀螺儀電路板的可靠性檢測技術的要求也隨之提高。

陀螺儀包括敏感元件和相應的陀螺儀電路板，包括驅動電路、檢測解調電路。驅動電路將起振信號生成敏感元件的驅動信號，檢測解調電路將敏感元件生成的敏感信號檢測解調為角速度信號。敏感元件在驅動信號的激勵下敏感角速度信號，檢測解調電路將敏感元件檢測到的信號檢測解調為包含角速度信息且便于檢測的電壓或電流信號。

通常，陀螺儀電路板的質量通過控制電路板的工藝質量來保證，但其能否正常工作，只能在敏感元件可靠地電連接于在陀螺儀電路板上，組成陀螺儀，通過檢測陀螺儀是否具備正常的功能，才能判斷電路板是否能正常工作，如不能正常工作，則需斷開陀螺儀電路板與敏感元件的電氣連接，再次檢驗敏感元件合格后方可再使用，過程中，由于敏感元件為產品構成中的貴重精密元件，反復的操作容易損壞，造成物料浪費；另外該檢測方法為事后檢測，不利于生產效率的提高，浪費人力物力；并且，由于需要逐一電連接和檢測，生產效率低，不適用于大批量生產。因此，如何提供一種代價小、高效、可靠和批量地檢測陀螺儀電路板的方法成為迫切的需求。

發明內容

為解決現有MEMS陀螺儀電路板檢測技術存在的檢測效率低、成本高、不適用批量生產的問題，本發明提供一種MEMS陀螺儀電路板檢測的方法及裝置。

第一方面，本發明提供一種MEMS陀螺儀電路板檢測的方法，該方法包括：

向所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅動電路發送驅動檢測信號，所述驅動檢測信號用于接入所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅動電路；

獲取所述驅動電路的驅動反饋信號；

根據所述驅動反饋信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的功能狀態。

第二方面，本發明實施例提供一種MEMS陀螺儀電路板檢測的裝置，所述裝置包括：

發送單元，用于向所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅動電路發送驅動檢測信號，所述驅動檢測信號用于接入所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅動電路；

獲取單元，用于獲取所述驅動電路的驅動反饋信號；

確定單元，根據所述驅動反饋信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的功能狀態。

第三方面，本發明實施例提供一種電子設備，該電子設備包括：

存儲器和處理器，所述處理器和所述存儲器通過總線完成相互間的通信；所述存儲器存儲有可被所述處理器執行的程序指令，所述處理器調用所述程序指令能夠執行如下方法：向所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅動電路發送驅動檢測信號，所述驅動檢測信號用于接入所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅動電路；獲取所述驅動電路的驅動反饋信號；根據所述驅動反饋信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的功能狀態。