[發(fā)明專利]一種MEMS陀螺儀電路板檢測方法及裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710993996.4 | 申請日： | 2017-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN107817432B | 公開（公告）日： | 2019-12-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 武東;湯一;齊芳藝;要彥清;劉松;蔡童童 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京晨晶電子有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 王瑩;李相雨 |
| 地址： | 101204 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mems 陀螺儀 電路板 檢測 方法 裝置 | ||
1.一種MEMS陀螺儀電路板檢測的方法，所述方法包括：
向待測MEMS陀螺儀電路板的驅(qū)動電路發(fā)送驅(qū)動檢測信號，所述驅(qū)動檢測信號用于接入所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅(qū)動電路；
獲取所述驅(qū)動電路的驅(qū)動反饋信號；
根據(jù)所述驅(qū)動反饋信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的功能狀態(tài)；
所述驅(qū)動檢測信號包括第一子驅(qū)動檢測信號和第二子驅(qū)動檢測信號，其中所述第一子驅(qū)動檢測信號的幅值大于所述第二子驅(qū)動檢測信號的幅值；
所述驅(qū)動反饋信號包括第一子驅(qū)動反饋信號和第二子驅(qū)動反饋信號；
相應(yīng)地，所述通過所述檢測電路板向所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅(qū)動電路發(fā)送驅(qū)動端檢測信號，具體包括：
分時向所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅(qū)動電路發(fā)送第一子驅(qū)動檢測信號和第二子驅(qū)動檢測信號；
相應(yīng)地，所述獲取所述驅(qū)動電路的反饋端的驅(qū)動反饋信號，具體包括：
向所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅(qū)動電路發(fā)送第一子驅(qū)動檢測信號時，獲取所述驅(qū)動電路的第一子驅(qū)動反饋信號；
向所述待測MEMS陀螺儀電路板的驅(qū)動電路發(fā)送第二子驅(qū)動檢測信號時，獲取所述驅(qū)動電路的第二子驅(qū)動反饋信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：
向所述待測MEMS陀螺儀電路板的檢測解調(diào)電路發(fā)送敏感檢測信號，所述敏感檢測信號用于接入所述待測MEMS陀螺儀電路板的檢測解調(diào)電路；
獲取所述檢測解調(diào)電路的敏感反饋信號；
相應(yīng)地，所述根據(jù)所述驅(qū)動反饋信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的功能狀態(tài)，具體包括：
根據(jù)所述驅(qū)動反饋信號及所述敏感反饋信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的功能狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：
獲取所述待測MEMS陀螺儀電路板的溫度檢測電路的溫度信號；
相應(yīng)地，所述根據(jù)所述驅(qū)動反饋信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的工作狀態(tài)，具體包括：
根據(jù)所述驅(qū)動反饋信號及所述溫度信號確定所述待測MEMS陀螺儀電路板的功能狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述敏感檢測信號包括第一子敏感檢測信號、第二子敏感檢測信號及第三子敏感檢測信號，其中所述第二子敏感檢測信號與所述第三子敏感檢測信號為具有相同預(yù)設(shè)幅值，相位差為180°的信號；
所述敏感反饋信號包括第一子敏感反饋信號、第二子敏感反饋信號和第三子敏感反饋信號；
相應(yīng)地，所述向所述待測MEMS陀螺儀電路板的檢測解調(diào)電路發(fā)送敏感檢測信號，具體包括：
分時向所述檢測解調(diào)電路發(fā)送第一子敏感檢測信號、第二子敏感檢測信號和第三子敏感檢測信號；
相應(yīng)地，所述獲取所述檢測解調(diào)電路的敏感反饋信號，具體包括：
向所述檢測解調(diào)電路發(fā)送第一子敏感檢測信號時，采集所述檢測解調(diào)電路的第一子敏感反饋信號；
向所述檢測解調(diào)電路發(fā)送第二子敏感檢測信號時，采集所述檢測解調(diào)電路的第二子敏感反饋信號；
向所述檢測解調(diào)電路發(fā)送第三子敏感檢測信號時，采集所述檢測解調(diào)電路的第三子敏感反饋信號。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述敏感檢測信號的幅值與待測MEMS陀螺儀電路板的量程成正比。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，還包括：
根據(jù)所述第二子敏感反饋信號及所述第三子敏感反饋信號，確定所述檢測解調(diào)電路的電路放大倍數(shù)。
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