[發明專利]天線、用于產生等離子體的電路，以及等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201710993086.6
• 申請日: 2017-10-23
• 公開（公告）號: CN107979909B
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發明（設計）人: 李東協;成德鏞;禹濟憲;金俸奭;李柱昊;全允珖;趙貞賢
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邵亞麗

1.一種等離子體產生電路，包括：

第一射頻功率源和第二射頻功率源，被配置為分別產生第一射頻功率和第二射頻功率；

第一天線和第二天線，被配置為接收所述第一射頻功率和第二射頻功率以分別產生等離子體，所述第一天線和第二天線彼此相鄰布置并且磁耦合以具有第一互感；

第一匹配電路，連接在第一射頻功率源和第一天線之間；

第二匹配電路，連接在第二射頻功率源和第二天線之間；

第一電感器，串聯連接在第一天線和第一匹配電路之間；

第二電感器，串聯連接在第二天線和第二匹配電路之間；

其中所述第一電感器和第二電感器彼此相鄰布置并且磁耦合以具有第二互感以消除所述第一互感，

其中第一互感具有正值并且第二互感具有負值，或者第一互感具有負值并且第二互感具有正值，

其中所述第一天線和第二天線中的每一個包括：

輸入電極；

分支電極，被連接到所述輸入電極，其中分支電極被設置多個；以及

線圈電極，被分別連接到所述分支電極的相對端部，線圈電極延伸并連接所述分支電極的端部，

其中所述第一天線的線圈電極的圈數等于所述第二天線的線圈電極的圈數，

其中所述第一天線的線圈電極的圈數等于所述第二天線的線圈電極的圈數，其中所述線圈電極是偏心線圈電極，以及

其中所述偏心線圈電極中的每一個包括：

頂線圈；

連接電極，其連接到所述頂線圈；以及

底線圈，其連接到所述連接電極并且在所述頂線圈下方。

2.根據權利要求1所述的等離子體產生電路，其中所述第一電感器以與所述第二電感器相反的方向被繞圈，并且

其中所述第一天線以與所述第二天線相同的方向被繞圈。

3.根據權利要求1所述的等離子體產生電路，其中所述第一天線在所述第二天線內側，

其中所述第一天線包括兩個分支電極，以及

其中所述第二天線包括四個分支電極。

4.根據權利要求1所述的等離子體產生電路，其中所述第一天線的線圈電極中的每一個從該線圈電極連接到的所述分支電極的端部被繞圈兩次，以及

其中所述第二天線的線圈電極中的每一個從該線圈電極連接到的所述分支電極的端部被繞圈一次。

5.根據權利要求1所述的等離子體產生電路，其中所述第一天線和第二天線中的每一個還包括：

輸出電極，被連接到所述線圈電極的端部；以及

環形電極，被連接到所述輸出電極并且在所述分支電極和所述線圈電極上。

6.根據權利要求5所述的等離子體產生電路，還包括：

第一電容器和第二電容器，被分別連接到所述第一天線和第二天線。

7.根據權利要求6所述的等離子體產生電路，其中所述第一電容器在所述第一天線的環形電極外部并且被連接到所述第一天線的環形電極，并且

其中所述第二電容器在所述第二天線的環形電極內側并且被連接到所述第二天線的環形電極。

8.根據權利要求1所述的等離子體產生電路，其中第一匹配電路被連接在所述第一射頻功率源和所述第一電感器之間；以及

其中第二匹配電路被連接在所述第二射頻功率源和所述第二電感器之間，

其中所述第一匹配電路和第二匹配電路被配置為分別匹配所述第一射頻功率和第二射頻功率的阻抗。