[發明專利]蒸發源裝置以及濺射鍍膜設備

在審

• 申請號: 201710982752.6
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN107663626A
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發明（設計）人: 徐旻生;莊炳河;龔文志;李永杰;張亮;唐宇霖;張永勝;滿小花
• 申請（專利權）人: 愛發科豪威光電薄膜科技(深圳)有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司44414
• 代理人: 張全文

技術領域

本發明屬于真空濺射鍍膜技術領域，尤其涉及一種蒸發源裝置以及濺射鍍膜設備。

背景技術

蒸發源裝置包括具有蒸發腔的蒸發箱以及置于蒸發腔內的坩堝，蒸發箱于其側壁開設于蒸發腔連通與真空鍍膜室對接的出料口，坩堝開設有開口朝上設置并用于存放藥液的存藥腔，其中，在蒸發鍍膜作業過程中，首先，藥液放置于坩堝，其次，加熱藥液，藥液氣化，并氣態藥液要向蒸上運動之后，才能到達出料口，這樣，導致藥液存在一定的浪費。

發明內容

本發明的目的在于克服上述現有技術的不足，提供了一種蒸發源裝置，其旨在解決藥液存在浪費的問題。

本發明是這樣實現的：一種蒸發源裝置，與真空鍍膜室配合使用，包括具有蒸發腔的蒸發箱、置于所述蒸發腔內的坩堝，所述坩堝開設有開口朝上設置并用于存放藥液的存藥腔，所述蒸發箱于其側壁開設于蒸發腔連通與所述真空鍍膜室對接的出料口，所述蒸發源裝置還包括用于驅動所述坩堝以使所述坩堝在初始狀態和蒸鍍狀態之間切換的驅動機構，所述坩堝在初始狀態時所述存藥腔腔口朝上設置，而在所述蒸鍍狀態時所述存藥腔腔口朝向所述出料口設置。

可選地，所述驅動機構包括與所述坩堝連接傳動軸以及用于驅動所述傳動軸以帶動所述坩堝在所述初始狀態和所述蒸鍍狀態之間切換的電機，所述電機固定于所述蒸發箱。

可選地，所述傳動軸穿過一所述蒸發箱一箱壁，所述電機位于所述蒸發箱外側。

可選地，所述傳動軸一轉動端轉動連接于所述蒸發箱另一箱壁。

可選地，所述蒸發源裝置包括用于連接所述驅動機構和所述坩堝的給進驅動器，所述進驅動器在所述坩堝處于所述蒸鍍狀態時驅動所述坩堝朝出料口運動以使所述坩堝抵靠所述蒸發腔腔壁。

可選地，所述蒸發箱包括真空放氣口、真空抽氣口以及供所述藥液送入的入料口；

所述蒸發源裝置包括設于所述出料口處并用于截斷或導通所述蒸發腔和所述真空鍍膜室的第一真空閥、設于所述入料口處并用于截斷或導通所述蒸發腔與外部的第二真空閥、設于所述真空放氣口處的真空放氣閥、設于所述真空抽氣口處的真空抽氣閥以及與所述真空抽氣閥連接并在所述真空放氣閥關閉、所述真空抽氣閥打開時用于將所述蒸發腔抽真空的真空泵。

可選地，所述蒸發源裝置包括送料組件，所述送料組件包括一出料管口的引料管、用于存放所述藥液的藥瓶、用于將所述藥液從所述藥瓶抽至所述引料管并直至所述藥液從所述出料管口溢出的柱塞泵以及用于驅動所述引料管、所述藥瓶和所述柱塞泵一并運動且使所述出料管口經所述入料口并到達所述存藥腔上方的送料驅動器。

可選地，所述真空放氣閥和所述真空抽氣閥均位于所述蒸發箱外側。

可選地，所述出料口為從上往下布置的長條孔設置，所述坩堝和所述驅動機構至少設有兩對，一所述驅動機構用于驅動一所述坩堝，各所述坩堝從上往下間隔布置，所述入料口至少設有兩個，所述送料組件設有兩個，一所述送料組件分布通過一所述入料口來給一所述坩堝供料。

本發明還提供一種濺射鍍膜設備，包括上述的蒸發源裝置以及與所述蒸發源裝置配合使用的蒸鍍室。

在使用過程中，首先，將藥液放置到坩堝的存藥腔，其次，驅動機構驅動坩堝進入蒸鍍狀態，然后，再利用加熱器加熱坩堝，以使藥液氣化。其中，當氣化的藥液溢出存藥腔時，氣化的藥液將沿著存藥腔的腔口開設方向溢出，而由于坩堝在蒸鍍狀態時，存藥腔腔口朝向出料口，從存藥腔溢出的氣化的藥液將沿水平方向直接進入到真空鍍膜室，這樣，相對于現有技術，減少了氣化的藥液進入到真空鍍膜室的路徑，有利于減少藥液的浪費。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明實施例提供的蒸發源裝置的一視角下的剖視圖；

圖2是本發明實施例提供的蒸發源裝置的另一視角結構下的剖視圖。

附圖標號說明：