[發明專利]蒸發源裝置以及濺射鍍膜設備

在審

• 申請號: 201710982752.6
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN107663626A
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發明（設計）人: 徐旻生;莊炳河;龔文志;李永杰;張亮;唐宇霖;張永勝;滿小花
• 申請（專利權）人: 愛發科豪威光電薄膜科技(深圳)有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司44414
• 代理人: 張全文

1.一種蒸發源裝置，與真空鍍膜室配合使用，包括具有蒸發腔的蒸發箱、置于所述蒸發腔內的坩堝，所述坩堝開設有開口朝上設置并用于存放藥液的存藥腔，所述蒸發箱于其側壁開設于蒸發腔連通與所述真空鍍膜室對接的出料口，其特征在于，所述蒸發源裝置還包括用于驅動所述坩堝以使所述坩堝在初始狀態和蒸鍍狀態之間切換的驅動機構，所述坩堝在初始狀態時所述存藥腔腔口朝上設置，而在所述蒸鍍狀態時所述存藥腔腔口朝向所述出料口設置。

2.如權利要求1所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述驅動機構包括與所述坩堝連接傳動軸以及用于驅動所述傳動軸以帶動所述坩堝在所述初始狀態和所述蒸鍍狀態之間切換的電機，所述電機固定于所述蒸發箱。

3.如權利要求2所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述傳動軸穿過一所述蒸發箱一箱壁，所述電機位于所述蒸發箱外側。

4.如權利要求3所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述傳動軸一轉動端轉動連接于所述蒸發箱另一箱壁。

5.如權利要求1所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述蒸發源裝置包括用于連接所述驅動機構和所述坩堝的給進驅動器，所述進驅動器在所述坩堝處于所述蒸鍍狀態時驅動所述坩堝朝出料口運動以使所述坩堝抵靠所述蒸發腔腔壁。

6.如權利要求1至5任一項所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述蒸發箱包括真空放氣口、真空抽氣口以及供所述藥液送入的入料口；

所述蒸發源裝置包括設于所述出料口處并用于截斷或導通所述蒸發腔和所述真空鍍膜室的第一真空閥、設于所述入料口處并用于截斷或導通所述蒸發腔與外部的第二真空閥、設于所述真空放氣口處的真空放氣閥、設于所述真空抽氣口處的真空抽氣閥以及與所述真空抽氣閥連接并在所述真空放氣閥關閉、所述真空抽氣閥打開時用于將所述蒸發腔抽真空的真空泵。

7.如權利要求6所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述蒸發源裝置包括送料組件，所述送料組件包括一出料管口的引料管、用于存放所述藥液的藥瓶、用于將所述藥液從所述藥瓶抽至所述引料管并直至所述藥液從所述出料管口溢出的柱塞泵以及用于驅動所述引料管、所述藥瓶和所述柱塞泵一并運動且使所述出料管口經所述入料口并到達所述存藥腔上方的送料驅動器。

8.如權利要求6所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述真空放氣閥和所述真空抽氣閥均位于所述蒸發箱外側。

9.如權利要求6所述的蒸發源裝置，其特征在于，所述出料口為從上往下布置的長條孔設置，所述坩堝和所述驅動機構至少設有兩對，一所述驅動機構用于驅動一所述坩堝，各所述坩堝從上往下間隔布置，所述入料口至少設有兩個，所述送料組件設有兩個，一所述送料組件分布通過一所述入料口來給一所述坩堝供料。

10.一種濺射鍍膜設備，其特征在于，包括如權利要求1所述的蒸發源裝置以及與所述蒸發源裝置配合使用的蒸鍍室。