[發明專利]電致變色器件離子化方法、制備方法及產品

有效

• 申請號: 201710978658.3
• 申請日: 2017-10-19
• 公開（公告）號: CN107740059B
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 張永夫;俞峰;周海龍;王曉東
• 申請（專利權）人: 浙江上方電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;G02F1/15
• 代理公司: 33315 杭州知閑專利代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 黃燕

1.一種電致變色器件離子化方法，該電致變色器件包括陽極電致變色層，其特征在于，對所述陽極電致變色層進行離子化的方法為：在靜止的陽極電致變色層上利用旋轉靶磁控濺射直接沉積離子層，沉積過程中，保持旋轉靶外部的靶材勻速旋轉，旋轉靶內部的磁棒正對陽極電致變色層進行往復勻速擺動，沉積過程中通過檢測陽極電致變色層的透過率控制沉積過程；離子層采用的離子源為鋰或者氧化鋰或者過氧化鋰中的一種或幾種；靶材旋轉速度為5～20轉/分鐘；所述磁棒擺動的角度為100～150°；所述磁棒擺動的速度為5～20°/min；

磁控濺射過程中的采用含有氧氣的氬氣的混合氣氛，其中氧氣的原子百分比含量為0.5％。

2.根據權利要求1所述的電致變色器件離子化方法，其特征在于，透過率檢測設備光源為鹵燈，通過抗高溫光纖傳遞到磁控濺射的腔體內，在陽極電致變色層后方通過抗高溫光纖傳遞到腔體外的可見光光譜儀，讀取的透過率數據用于同步控制磁控濺射的運行。

3.根據權利要求1所述的電致變色器件離子化方法，其特征在于，陽極電致變色層的透過率不再增加時，停止沉積離子層。

4.一種電致變色器件的制備方法，包括在透明基體上依次沉積生長底層透明導電層、陰極電致變色層、離子傳導層、陽極電致變色層、離子源及頂層透明導電層；或者在透明基體上依次沉積生長底層透明導電層、陽極電致變色層、離子源、離子傳導層、陰極電致變色層及頂層透明導電層，其特征在于，在陽極電致變色層上沉積離子源的方法采用權利要求1～3任一項所述的電致變色器件離子化方法。

5.一種電致變色器件，其特征在于，由權利要求4所述的電致變色器件的制備方法制備得到。