[發明專利]一種石英晶振多功能加工裝置在審
| 申請號: | 201710967492.5 | 申請日: | 2017-10-17 |
| 公開(公告)號: | CN107634021A | 公開(公告)日: | 2018-01-26 |
| 發明(設計)人: | 李直榮 | 申請(專利權)人: | 馬鞍山榮泰科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 243000 安徽省馬鞍山*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英 多功能 加工 裝置 | ||
1.一種石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述裝置包括機架(1),機架(1)上表面設有晶片入料裝置(2)、瓷片入料裝置(16)、出料裝置(3)和圓形操作臺(8);所述晶片入料裝置(2)安裝抓取機械手(19),用于抓取晶片;所述瓷片入料裝置(16)安裝抓取機械手(19),用于抓取瓷片;所述出料裝置(3)安裝抓取機械手(19),用于抓取點膠后的晶片;晶片夾具(9)裝設于圓形操作臺(8)上,用于放置并固定晶片和瓷片;所述晶片夾具(9)下方安裝吸嘴(5),用于吸附瓷片和晶片;激光標識(13)安裝于機架(1)上,用于標識晶片需要鍍銀和點膠的位置;鍍銀裝置(14)安裝于機架(1)上,用于對晶片需要鍍銀的位置進行鍍銀;點膠裝置(15)安裝于機架(1)上,用于對晶片需要點膠的位置進行點膠;初測激光打標(18)安裝于機架(1)上,用于晶片初步測試并進行激光標注;抓點相機(6)安裝于機架(1)上,用于觀察鍍銀位置信息和點膠位置信息;觀測臺(7)安裝于機架(1)上,用于查看抓點相機(6)反饋的視頻信息;控制系統(4)安裝于機架(1)內,用于控制鍍銀裝置(14)和點膠裝置(15)的工作狀態。
2.根據權利要求1所述的石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述鍍銀裝置(14)內安裝鍍銀伺服模組(10),使得鍍銀裝置(14)可按XY軸自由移動。
3.根據權利要求1所述的石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述鍍銀裝置(14)側邊安裝探高儀(11),用于控制鍍銀裝置(14)與晶片之間的接觸距離。
4.根據權利要求1所述的石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述激光標識(13)被抓點相機(6)識別后,反饋至控制系統(4),用于指導鍍銀和點膠的位置、厚度等加工信息,并將視頻信息反饋至觀測臺(7)。
5.根據權利要求1所述的石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述吸嘴(5)吸附瓷片,并可帶動瓷片左右旋轉。
6.根據權利要求1所述的石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述觀測臺(7)由電腦顯示屏或工業交互界面構成。
7.根據權利要求1所述的石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述點膠裝置(15)內安裝微調裝置(12),用于控制點膠閥的豎直高度,從而調整晶片和點膠閥的間距。
8.根據權利要求1所述的石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述初測激光打標(18)對晶片進行激光標注后,便于機械化篩選。
9.根據權利要求1所述的石英晶振多功能加工裝置,其特征是,所述圓形操作臺(8)可根據控制系統(4)給予的指令,按一定速度旋轉或定點停頓。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





