[發(fā)明專利]一種復合薄膜

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710964104.8
• 申請日: 2017-10-17
• 公開（公告）號: CN107601513A
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發(fā)明（設計）人: 許美鳳
• 申請（專利權）人: 安徽省華騰農(nóng)業(yè)科技有限公司
• 主分類號: C01B33/145
• 分類號: C01B33/145;C09D1/00
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙)34124
• 代理人: 王志興

技術領域

本發(fā)明涉及一種復合薄膜。

背景技術

根據(jù)國際純粹與應用化學聯(lián)合會(IUPAC)的規(guī)定，介孔材料是指孔徑介于2-50nm的一類多孔材料。介孔材料具有極高的比表面積、規(guī)則有序的孔道結構、狹窄的孔徑分布、孔徑大小連續(xù)可調(diào)等特點，使得它在很多微孔沸石分子篩難以完成的大分子的吸附、分離，尤其是催化反應中發(fā)揮作用。而且，這種材料的有序孔道可作為“微型反應器”，在其中組裝具有納米尺度的均勻穩(wěn)定的“客體”材料后而成為“主客體材料”，由于其主、客體間的主客體效應以及客體材料可能具有的小尺寸效應、量子尺寸效應等將使之有望在電極材料、光電器件、微電子技術、化學傳感器、非線性光學材料等領域得到廣泛的應用。因此介孔材料從它誕生一開始就吸引了國際上物理、化學、生物、材料及信息等多學科研究領域的廣泛興趣，目前已成為國際上跨多學科的熱點前沿領域之一。

有序介孔薄膜的成功合成于1997年由Brinker等閣率先報道。利用酸性的醇溶液為反應介質(zhì)和揮發(fā)誘導自組裝(EISA)工藝可以合成高質(zhì)量的氧化硅介孔薄膜，這為介孔材料在膜分離與催化、微電子、傳感器和光電功能器件等領域的應用開辟了廣闊的前景。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明專利的目的在于提供一種具有優(yōu)異導電性能的復合介孔薄膜。本發(fā)明采用如下技術方案：

一種復合薄膜，其特征在于，該復合薄膜包括納米二氧化硅顆粒和前驅體溶膠；

將納米二氧化硅顆粒加入至前驅體溶膠中，利用超聲波分散溶膠30-60分鐘，使得納米二氧化硅顆粒充分均勻的分散在溶膠中，得到復合溶膠液，其中改性納米二氧化硅顆粒在溶膠中的質(zhì)量分數(shù)為1-3％；

利用旋涂法成膜，將所制備得到的復合溶膠液旋涂在單晶硅基底上成膜，轉速為1000-3000轉/分鐘，旋涂時間為20-60秒，成膜后，將樣品置于常溫下靜置20-50h；然后將其放在高溫爐中，以2-5℃/分鐘的升溫速率升溫至300℃-450℃，保溫4-6小時，自然冷卻至室溫，既得到復合薄膜。

2、如權利要求1所述的一種復合薄膜，其特征在于，所制備的復合薄膜的厚度為1-5μm，優(yōu)選3μm；

3、如權利要求1所述的一種復合薄膜，其特征在于，所采用的納米二氧化硅顆粒的粒徑為10-30nm。

4、如權利要求1所述的一種復合薄膜，其特征在于，所采用的納米二氧化硅顆粒為改性納米二氧化硅顆粒。

5、如權利要求1所述的一種復合薄膜，其特征在于，利用旋涂法成膜，將所制備得到的復合溶膠液旋涂在單晶硅基底上成膜，轉速為2000轉/分鐘，旋涂時間為45秒，成膜后，將樣品置于常溫下靜置36h；然后將其放在高溫爐中，以3℃/分鐘的升溫速率升溫至300℃-450℃，保溫5小時，自然冷卻至室溫，既得到復合薄膜。。

有益效果：

成膜工藝簡單，先制成液體形態(tài)，采用旋涂法成膜；

制備工藝簡單，原理安全可靠，制成的材料性能好，制備環(huán)境友好，應用范圍廣。

具體實施方式

下面結合具體實施例，進一步闡述本發(fā)明。

實施例一

一種復合薄膜，其特征在于，該復合薄膜包括納米二氧化硅顆粒和前驅體溶膠；

將納米二氧化硅顆粒加入至前驅體溶膠中，利用超聲波分散溶膠30-60分鐘，使得納米二氧化硅顆粒充分均勻的分散在溶膠中，得到復合溶膠液，其中改性納米二氧化硅顆粒在溶膠中的質(zhì)量分數(shù)為1-3％；

利用旋涂法成膜，將所制備得到的復合溶膠液旋涂在單晶硅基底上成膜，轉速為1000-3000轉/分鐘，旋涂時間為20-60秒，成膜后，將樣品置于常溫下靜置20-50h；然后將其放在高溫爐中，以2-5℃/分鐘的升溫速率升溫至300℃-450℃，保溫4-6小時，自然冷卻至室溫，既得到復合薄膜。

該復合薄膜的厚度為1-5μm，優(yōu)選3μm；

所采用的納米二氧化硅顆粒的粒徑為10-30nm。

所采用的納米二氧化硅顆粒為改性納米二氧化硅顆粒。

利用旋涂法成膜，將所制備得到的復合溶膠液旋涂在單晶硅基底上成膜，轉速為2000轉/分鐘，旋涂時間為45秒，成膜后，將樣品置于常溫下靜置36h；然后將其放在高溫爐中，以3℃/分鐘的升溫速率升溫至300℃-450℃，保溫5小時，自然冷卻至室溫，既得到復合薄膜。

實施例二

一種復合薄膜，其特征在于，該復合薄膜包括納米二氧化硅顆粒和前驅體溶膠；